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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 光学显微干涉
  • 1 篇 无损测量
  • 1 篇 comsol仿真
  • 1 篇 硅通孔形貌
  • 1 篇 自适应像差补偿

机构

  • 1 篇 南京理工大学

作者

  • 1 篇 郭珍艳
  • 1 篇 高志山
  • 1 篇 吴春霞
  • 1 篇 袁群
  • 1 篇 马剑秋

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=硅通孔形貌"
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基于像差补偿的近红外显微干涉硅通孔测量
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光学精密工程 2023年 第3期31卷 301-312页
作者： 吴春霞 马剑秋 高志山 郭珍艳 袁群 南京理工大学电子工程与光电技术学院 江苏南京210094
为了实现深宽比大于6∶1的硅通孔的形貌测量,提出了一种基于像差补偿的近红外显微干涉检测方法。该方法采用近红外宽带光作为光源,能够穿透硅通孔,检测系统中内置变形镜自适应像差补偿模块,主动补偿硅通孔引入的调制像差。在检测硅通孔... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 博看期刊 评论
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