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利用光束在硅芯片上控制细胞

激光与光电子学进展 2007年第12期44卷 9-10页

作者：慢光(编译)

麻省理工学院的研究人员首次利用光镊技术在硅芯片上控制、移动单个细胞和其他物体。这项新技术将可能成为生物学和材料研究的重要工具。

关键词：单个细胞硅芯片控制光束麻省理工学院光镊技术研究人员生物学

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硅芯片封装中芯片崩裂的改善

硅芯片封装中芯片崩裂的改善

作者：庞零苏州大学

学位级别：硕士

随着集成电路向小型化、超薄化发展,以及企业对于生产成本要求的降低,都使得其内在芯片的尺寸越来越小,单片晶圆可容纳的芯片越来越多,这种改变对半导体封装工艺带来了比较大的挑战。对于企业来说,如果是同样的芯片封装形式,从成本... 详细信息

随着集成电路向小型化、超薄化发展,以及企业对于生产成本要求的降低,都使得其内在芯片的尺寸越来越小,单片晶圆可容纳的芯片越来越多,这种改变对半导体封装工艺带来了比较大的挑战。对于企业来说,如果是同样的芯片封装形式,从成本的角度考虑,不可能因为芯片外形尺寸的变化而重新添置或者更换现有设备。大多数企业使用的都是在加工制造0.18μm （即180nm）芯片时代的设备,但如果要使用这些设备去加工制造65nm甚至是45nm芯片时,很多工艺问题就会凸显。崩裂就是其中一个工艺问题。本文主要是对生产工艺进行改进和优化,不同于以往很多文献资料,仅仅是针对理论模型进行研究探讨。通过对崩裂产生的原因及其机理进行分析,确定了在后道封装过程中的划片站和芯片粘合站发生崩裂的根本原因,并针对老型号的切割刀无法适用于新的窄切割槽产品的问题以及新产品与老产品的尺寸不同导致芯片粘合中的wafer粘膜扩张参数无法适用于新产品的问题,研究、分析且成功导入了在划片站时使用的一种新型切割刀,并通过一些对比实验优化了在芯片粘合站时使用的一组wafer粘膜扩张参数。在监测了一段时间之后,证明了这些措施的有效性,最终减少了崩裂现象的发生。最后,从客户的角度出发,进行一些风险评估实验来评估崩裂现象在客户端发生的几率和潜在的风险大小,通过实验和分析,对成品的测试流程加以改进优化,以减少崩裂现象在客户端发生的可能性和相应的客户投诉。

关键词：硅芯片崩裂划片芯片粘合风险评估

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一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置

真空科学与技术学报 2005年第3期25卷 214-216,221页

作者：王权丁建宁王文襄杨平江苏大学微纳米科学技术研究中心昆山双桥传感器测试技术有限公司江苏苏州215325

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适... 详细信息

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用。本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适合于大批量生产的静电键合简易装置,实践表明此装置易操作,施加键合静电电压降为160V,键合时间缩短为约2分钟,键合界面具有较大的封接强度和耐高温冲击性,满足了压力传感器制作的无应力封装的需要,具有实用性。

关键词：压阻式压力传感器硅芯片 PYREX7740 静电键合简易装置

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双E型加速度传感器硅芯片的优化设计

传感技术学报 2003年第1期16卷 85-87页

作者：唐世洪张克梅邓永和谭子尤吉首大学物理与电子工程系传感技术实验室湖南吉首市416000

介绍了最新优化设计的双 E型加速度传感器硅芯片结构和工艺的实现。通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度 ,即可制得不同量程的双 E型敏感硅芯片和加速度传感器。

关键词：硅芯片加速度传感器

硅芯片纳米微流体技术在无创产前基因检测中的应用研究

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重庆医学 2021年第24期50卷 4237-4244页

作者：周俊周莉马莉郭晓辉广东省深圳市人民医院产科 518000

目的分析硅芯片纳米微流体技术在捕捉孕妇外周血中胎儿有核红细胞(fnRBC)和胎盘滋养层细胞(EVT)的应用效果。方法选取2018年5月至2019年12月该院产科门诊进行产前筛查的孕妇,利用生物抗原抗体的生化特性辨认,再通过硅芯片纳米微流体技... 详细信息

目的分析硅芯片纳米微流体技术在捕捉孕妇外周血中胎儿有核红细胞(fnRBC)和胎盘滋养层细胞(EVT)的应用效果。方法选取2018年5月至2019年12月该院产科门诊进行产前筛查的孕妇,利用生物抗原抗体的生化特性辨认,再通过硅芯片纳米微流体技术捕捉最大量的fnRBC和EVT。结果孕妇平均年龄(36.9±2.8)岁,平均孕周(20.2±2.3)周,在8 mL母体血中,第1次捕捉fnRBC平均个数为(20.6±6.1)个/mL,第2次为(20.4±5.8)个/mL,两次间差异无统计学意义(t=2.362,P>0.05);第1次捕捉EVT平均个数为(67.6±7.9)个/mL,第2次为(67.2±8.2)个/mL,两次比较差异无统计学意义(P>0.05)。免疫荧光鉴定fnRBC纯度为(95±2)%,EVT纯度为(93±1)%。结论通过硅芯片纳米微流体技术能较准确捕捉、分离和识别孕妇外周血液样本中的fnRBC和EVT。

关键词：硅芯片纳米微流体技术基因芯片有核红细胞胎盘滋养层细胞产前检测