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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 硅微机械薄膜
  • 1 篇 光激励谐振
  • 1 篇 杨氏弹性模量
  • 1 篇 光纤拾取

机构

  • 1 篇 西安理工大学

作者

  • 1 篇 张少君
  • 1 篇 刘月明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=硅微机械薄膜"
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光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量
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光子学报 2005年 第6期34卷 877-880页
作者： 张少君 刘月明 西安理工大学理学院物理系 西安710048
提出了一种采用光热激励和光拾取的全光谐振技术方法,确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量.该方法基于光热激励的致动机理,使用调制光对硅微机械薄膜结构进行光热激励使之谐振,利用光纤传感技术拾取其谐振频率信号,进而利用谐振理论模型确... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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