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学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 计算机科学与技术...
    • 1 篇 软件工程
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 3 篇 内引线
  • 3 篇 浓硼扩散区
  • 3 篇 激光打孔
  • 3 篇 硅基微电感
  • 3 篇 mems

机构

  • 3 篇 黑龙江大学
  • 1 篇 黑龙江省电子工程...

作者

  • 2 篇 温殿忠
  • 2 篇 李点美
  • 1 篇 杨子江
  • 1 篇 王璐
  • 1 篇 冯昌浩
  • 1 篇 张海燕
  • 1 篇 杨志
  • 1 篇 潘择群

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=硅基微电感"
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硅基微电感的研究
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黑龙江大学自然科学学报 2006年 第3期23卷 354-358页
作者： 李点美 王璐 杨志 温殿忠 黑龙江大学集成电路重点实验室 黑龙江哈尔滨150080
阐述了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法,提出了在硅杯背面用激光器打孔以减薄衬底厚度,从而使电感的Q值得到提高的一种方案,并应用目前普遍采用的电感模型,利用Ansys有限元... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
基于MEMS技术研制RF硅基微电感线圈
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黑龙江大学工程学报 2010年 第4期1卷 78-83页
作者： 温殿忠 潘择群 杨子江 张海燕 冯昌浩 黑龙江省电子工程重点实验室黑龙江大学 哈尔滨150080 黑龙江大学集成电路重点实验室 哈尔滨150080
在分析了硅基上金属线圈的串联电阻、金属层厚度等在低频和高频的情况下对Q的影响及原因的基础上,提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法。设计了硅基电感的版图尺寸和相关... 详细信息
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硅基电磁激励式微流路组件研究
硅基电磁激励式微流路组件研究
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作者： 李点美 黑龙江大学
学位级别：硕士
本文提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法。我们设计了硅基电感的版图尺寸和相关的工艺流程，用IntelliSuite软件模拟验证了工艺流程的可能性，再利用Ansys有限元软件中... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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