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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 光致发光强度
  • 1 篇 薄膜
  • 1 篇 多步湿法刻蚀钝化
  • 1 篇 酸溶液
  • 1 篇 砷化镓表面均匀性
  • 1 篇 表面化学

机构

  • 1 篇 长春理工大学

作者

  • 1 篇 韩佳媛
  • 1 篇 邹永刚
  • 1 篇 兰云萍
  • 1 篇 张亚磊
  • 1 篇 张洪榕

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=砷化镓表面均匀性"
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湿法刻蚀钝化对GaAs表面性能影响的工艺研究
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中国激光 2024年 第16期 132-140页
作者： 张亚磊 兰云萍 韩佳媛 张洪榕 邹永刚 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
砷化镓（GaAs）是一种典型的Ⅲ-V族半导体材料，但材料本身缺少高质量的稳定钝化层，表面存在较高的表面态密度，最终影响GaAs基半导体器件的性能。采用多步湿法刻蚀钝化工艺降低了GaAs衬底的表面态密度，详细分析了不同酸溶液、酸溶液... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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