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利用形变媒质上小振幅声波理论研究石英基板上声表面波温度特性(英文)

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南京大学学报（自然科学版） 2013年第1期49卷 52-57页

作者：罗中涌曹明公勋章德近代声学教育部重点实验室南京大学声学所南京大学物理学院声科学与工程系南京210093

对于声表面波而言温度特性是非常重要的一个指标.而石英基板在表面波器件中应用广泛.当环境温度改变时,基板尺寸会发生变化,弹性系数和压电系数值也会发生变化,在考虑这些变化的基础上就可以考察声表面波器件的温度特性.这是通常的方法... 详细信息

对于声表面波而言温度特性是非常重要的一个指标.而石英基板在表面波器件中应用广泛.当环境温度改变时,基板尺寸会发生变化,弹性系数和压电系数值也会发生变化,在考虑这些变化的基础上就可以考察声表面波器件的温度特性.这是通常的方法.但是,弹性系数和压电系数的温度系数其实参考了随温度变化的中间状态,而并非定义弹性系数和压电系数的参考温度时的状态.在某些场合下,由于温度变化会产生一个非均匀分布的形变,比如带电极的体波谐振器以及多层声表面波基板,上述方法就会失效.在其它的一些场合,如力和加速度传感器的情况,初始形变可能是由于外力或者加速度造成的.为了得到这些在形变媒质上小振幅声波的传播特性,一些学者从非线性方程发展出一套理论.按照这种理论,可以得到参考同一参考状态的弹性常数以及它们的温度系数.P.C.Y.Lee和Y.K.Yong[Journal of Applied Physics,1986,60:.2327]给出了一套完整的热形变媒质中小振幅振动的理论,并推导出了石英晶体弹性常数的一阶、二阶和三阶温度系数.他们成功地考察了石英体波谐振器的温度特性.在本文中,我们对LeeandYong的理论加以推广,引入了压电性.这样,该方法也可以用来分析具有强压电性的基板了.我们分析了石英基板上声表面波的温度特性.文中给出了ST-切,MD-切和K-切石英基板的计算结果.计算结果证明了该方法的有效性.当然新方法比传统的方法要复杂的多.因为该方法在理论上具有一般性,如果先计算出器件结构中初始应变的分布,它就可以顺利地来分析多层基板上声表面波或者是一些传感器的工作特性.

关键词：石英基板声表面波温度特性

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一种基于石英基板的功分器制备研究

电子工艺技术 2018年第4期39卷 198-200,222页

作者：梁广华贾世旺兰宝岩赵飞徐亚新龚孟磊刘晓兰中国电子科技集团公司第五十四研究所河北石家庄050081

石英基板在高频毫米波太赫兹频段具有介电常数低和损耗低等优点,但是石英基板电路尤其是薄石英基板电路的加工难度较大。利用薄膜电路加工技术在石英基板上加工出一款分路器。通过对石英基板威尔金森功分器的研究和制备,分析并解决了含... 详细信息

石英基板在高频毫米波太赫兹频段具有介电常数低和损耗低等优点,但是石英基板电路尤其是薄石英基板电路的加工难度较大。利用薄膜电路加工技术在石英基板上加工出一款分路器。通过对石英基板威尔金森功分器的研究和制备,分析并解决了含电阻石英薄膜电路基板加工中电阻图形化、电阻退火热处理和划切工艺的难点,并提出了一些新的方法,对石英基板在高频微波电路领域的应用具有较好的借鉴意义。

关键词：石英基板薄膜电路 TaN电阻高频微波电路功分器

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一种研究石英基板上声表面波特性的新方法

一种研究石英基板上声表面波特性的新方法

2010'中国西部声学学术交流会

作者：公勋于小利陈建军吴浩东毛一葳章德南京大学声学研究所近代教育部重点实验室

通常来说,研究表面波的温度特性时,首先要考虑环境温度变化引起的尺寸变化,然后再通过引入弹性和压电常数的温度系数来进行分析。实际上,使用的材料常数的温度系数参考了变化的依赖环境温度的基板的均匀形变状态。因此,在非均匀形变基板... 详细信息

通常来说,研究表面波的温度特性时,首先要考虑环境温度变化引起的尺寸变化,然后再通过引入弹性和压电常数的温度系数来进行分析。实际上,使用的材料常数的温度系数参考了变化的依赖环境温度的基板的均匀形变状态。因此,在非均匀形变基板上,这些温度系数就失效了。P.C.Y.Lee和Y.K.Yong依据叠加于静态形变上的动态波动理论[J.Appl.Phys.Vol.60,No.7,p.2327,0ct 1,1986]给出了石英弹性常数的一阶、二阶温度系数。本文利用Lee的理论分析了热形变石英基板上声表面波的传播特性,主要是温度特性。其结果和以前的方法符合得很好,说明了Lee的方法的有效性。由于该方法的一般性,它还能够用来处理常规方法无能为力的非均匀形变基板上声表面波的传播特性。

关键词：石英基板表面波温度特性

来源： cnki会议评论

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一种W波段H面波导探针过渡结构设计

一种W波段H面波导探针过渡结构设计

2019年全国微波毫米波会议

作者：徐景欣王志刚电子科技大学电子科学与工程学院

本文提出了一种H面波导到微带的探针过渡结构,该结构的输入波导和输出微带在同一方向上,适合作为W波段H面电桥结构的输入输出转换。该探针由石英基板制作,在W波段具有损耗小,不易变形的优点。仿真结果表明单边探针过渡在88GHz～104.5GH... 详细信息

本文提出了一种H面波导到微带的探针过渡结构,该结构的输入波导和输出微带在同一方向上,适合作为W波段H面电桥结构的输入输出转换。该探针由石英基板制作,在W波段具有损耗小,不易变形的优点。仿真结果表明单边探针过渡在88GHz～104.5GHz范围内的回波损耗优于20.8dB,插入损耗小于0.11dB;背靠背探针过渡在86GHz～107GHz范围内回波损耗优于19dB,插入损耗小于0.22dB。

关键词： W波段 H面波导探针过渡结构石英基板

来源： cnki会议评论

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太赫兹探针过渡与BGA互联研究

太赫兹探针过渡与BGA互联研究

一种基于共面波导的0.14THz低噪声放大器设计

2020年全国微波毫米波会议

作者：王俊辉王志刚徐锐敏电子科技大学极高频复杂系统国防重点学科实验室

本文提出了一种基于球栅阵列封装技术的太赫兹互联结构,该结构具有十分高的封装密度,适合用作太赫兹SIP模块封装中的互联。仿真结果表明在202GHz——228GHz范围内的回波损耗优于20dB,插入损耗小于0.85dB。为方便后期该互联结构的实测,... 详细信息

本文提出了一种基于球栅阵列封装技术的太赫兹互联结构,该结构具有十分高的封装密度,适合用作太赫兹SIP模块封装中的互联。仿真结果表明在202GHz——228GHz范围内的回波损耗优于20dB,插入损耗小于0.85dB。为方便后期该互联结构的实测,本文设计制作了一款E面探针,采用石英基板制作,具有不易变形的优点。仿真结果表明背靠背探针过渡在185GHz——255GHz范围内回波损耗优于20dB,插入损耗小于0.5dB。

关键词：太赫兹波导探针过渡互联结构石英基板球栅阵列（BGA）

来源： cnki会议评论

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太赫兹科学与电子信息学报 2013年第3期11卷 332-335页

作者：康小克邓贤进陈樟中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 中国工程物理研究院太赫兹科学技术研究中心四川绵阳621999

为解决低噪声放大器设计中过渡电路的实现问题,对基于共面波导的波导-平面电路过渡形式进行改进和优化,设计了一种工作频率为0.14 THz,带宽10 GHz的低噪声放大器。通过仿真,得到了输入输出回波损耗小于-27 dB,插入损耗小于0.1 dB的结果... 详细信息

为解决低噪声放大器设计中过渡电路的实现问题,对基于共面波导的波导-平面电路过渡形式进行改进和优化,设计了一种工作频率为0.14 THz,带宽10 GHz的低噪声放大器。通过仿真,得到了输入输出回波损耗小于-27 dB,插入损耗小于0.1 dB的结果。此种方法能够很好地实现信号在不同传输线形式间的转换,并得到了无源测试验证。

关键词：低噪声放大器共面波导石英基板 0 14 THz

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免修整柔性金刚石砂轮的磨削性能研究

中国机械工程 2001年第7期12卷 775-777页

作者：郭隐彪黄元庆梁锡昌厦门大学福建省厦门市361005 厦门大学机电系重庆大学重庆市400044

针对现有超大规模集成电路基板加工中存在的效率低问题 ,提出一种免除砂带张紧装置、消除砂带横向振动影响 ,达到柔性砂轮磨削效果的新型砂轮。新型砂轮结合了砂带磨削加工效率高、发热低的优点及砂轮磨削精度高和设备简单的条件 ,解决... 详细信息

针对现有超大规模集成电路基板加工中存在的效率低问题 ,提出一种免除砂带张紧装置、消除砂带横向振动影响 ,达到柔性砂轮磨削效果的新型砂轮。新型砂轮结合了砂带磨削加工效率高、发热低的优点及砂轮磨削精度高和设备简单的条件 ,解决了集成电路基板高效磨削的问题。通过和树脂砂轮的对比实验表明。

关键词：柔性砂轮石英基板高效磨削误差分析磨削性能超大规模集成电路