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主题

  • 1 篇 隧穿氧化层钝化接...
  • 1 篇 掺杂非晶硅
  • 1 篇 石墨舟清洗

机构

  • 1 篇 湖南红太阳光电科...

作者

  • 1 篇 唐电
  • 1 篇 彭宜昌
  • 1 篇 杨彬
  • 1 篇 张威
  • 1 篇 许烁烁

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=石墨舟清洗"
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新型石墨舟等离子体清洗设备的工艺效果与优势
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电子工业专用设备 2023年 第2期52卷 6-9页
作者: 许烁烁 杨彬 张威 彭宜昌 唐电 湖南红太阳光电科技有限公司 湖南长沙410006
新型石墨舟等离子体清洗设备能有效减少清洗时间,减少了非晶硅沉积工艺中磷烷的用量,提高了隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)电池转换效率,具有很大的竞争优势。研究了等离子体清洗工艺参数对电池转换效率的影响,得到了最佳的石墨舟等离子体... 详细信息
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