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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 热处理
  • 1 篇 短钨纤维
  • 1 篇 磁控溅射
  • 1 篇 y2o3薄膜

机构

  • 1 篇 中国科学院合肥物...
  • 1 篇 中国科学技术大学

作者

  • 1 篇 孙嘉隆
  • 1 篇 姜志忠
  • 1 篇 曹振亚
  • 1 篇 陈浩

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=短钨纤维"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
热处理温度对磁控溅射氧化钇薄膜形貌及物相的影响
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引用
热加工工艺 2025年 第3期 82-86页
作者： 陈浩 曹振亚 姜志忠 孙嘉隆 中国科学院合肥物质科学研究院核能安全技术研究所 中国科学技术大学研究生院科学岛分院
采用射频磁控溅射方法在短钨纤维表面制备Y2O3薄膜，薄膜厚度约100 nm。为便于研究，首先采用相同工艺将Y2O3薄膜沉积在钨片上，分别在500、700及900℃热处理1 h，通过扫描电镜、XRD射线衍射手段对薄膜表面形貌及物相变化分析，确定用于... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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