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    • 1 篇 化学
    • 1 篇 地质学

主题

  • 2 篇 金属-半导体-金属...
  • 2 篇 真空紫外探测
  • 2 篇 磁控溅射技术
  • 2 篇 六方氮化硼

机构

  • 2 篇 西安交通大学

作者

  • 2 篇 张启凡
  • 2 篇 云峰
  • 2 篇 李家兴
  • 2 篇 李强
  • 2 篇 刘康康
  • 2 篇 房万年
  • 2 篇 陈冉升

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=真空紫外探测"
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基于磁控溅射法生长hBN薄膜的MSM型真空紫外探测器(特邀)
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光子学报 2024年 第7期53卷 21-30页
作者： 房万年 李强 张启凡 陈冉升 李家兴 刘康康 云峰 西安交通大学电子科学与工程学院 西安710049
针对目前大面积高质量六方氮化硼(hBN)薄膜的制备与转移存在均匀性、晶粒控制、无损转移等问题,采用射频磁控溅射技术成功在2英寸硅和蓝宝石介电衬底上沉积了hBN薄膜,拉曼光谱、X射线光电子能谱表征证实了薄膜具有明显的hBN特征。制备了... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
基于磁控溅射法生长hBN薄膜的MSM型真空紫外探测器（特邀）
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光子学报 2024年 第7期 1-10页
作者： 房万年 李强 张启凡 陈冉升 李家兴 刘康康 云峰 西安交通大学电子科学与工程学院
针对目前大面积高质量六方氮化硼（hBN）薄膜的制备与转移存在均匀性、晶粒控制、无损转移等问题，采用射频磁控溅射技术成功在2英寸硅和蓝宝石介电衬底上沉积了hBN薄膜，拉曼光谱、X射线光电子能谱表征证实了薄膜具有明显的hBN特征。... 详细信息
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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