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文献类型

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馆藏范围

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 高反膜
  • 1 篇 界面粗糙度
  • 1 篇 等效吸收层
  • 1 篇 真空紫外光学薄膜
  • 1 篇 增透膜

机构

  • 1 篇 中国科学院光电技...
  • 1 篇 中国科学院大学

作者

  • 1 篇 郭春
  • 1 篇 黄凯
  • 1 篇 孔明东

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=真空紫外光学薄膜"
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界面粗糙度对真空紫外光学薄膜光谱性能影响研究
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半导体光电 2023年 第2期44卷 228-233页
作者： 黄凯 郭春 孔明东 中国科学院光电技术研究所 成都610209 中国科学院大学光电工程学院 北京100049
设计了193 nm窄角度和宽角度入射增透膜以及正入射高反膜,其中增透膜s和p偏振光透射率的最大偏差分别为0.17%和0.44%。结合标量散射理论和等效吸收层近似理论,多层膜间的粗糙界面等效为薄的吸收层,基于薄膜本征传输矩阵计算分析了不同... 详细信息
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