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文献类型

  • 1 篇 学位论文

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  • 1 篇 电子文献
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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 真空等离子体抛光...
  • 1 篇 srim仿真
  • 1 篇 亚表层损伤
  • 1 篇 白光干涉法
  • 1 篇 修复

机构

  • 1 篇 长春理工大学

作者

  • 1 篇 纪淑花

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=真空等离子体抛光机理"
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光学元件亚表层损伤等离子体修复理论与实验研究
光学元件亚表层损伤等离子体修复理论与实验研究
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作者： 纪淑花 长春理工大学
学位级别：硕士
为了降低光学元件的亚表层损伤,提高光学元件的使用性能,本文提出了通过组合抛光的方法来降低光学元件亚表层损伤。在分析对比亚表层损伤的模型损伤表现形式,亚表层损伤检测技术基础上,确定采用白光干涉法作为实验的测量方法。本文对真... 详细信息
来源： 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
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