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浅析真空沉积腔室的电气智能化设计
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中国设备工程 2024年 第12期 46-48页
作者: 贾坚江 龙焱能源科技(杭州)有限公司 浙江杭州310018
真空沉积腔是当前国内外薄膜太阳能领域的重要设备之一,腔体真空和温度均匀性要求很高,其结果直接影响镀膜效果,最终决定发电性能。为了使这些设备能够满足生产需求,创造出最理想的效益,应积极将智能化制造理念渗透到真空沉积腔的电气... 详细信息
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真空沉积酞菁铅和酞菁氧钒层状纳米复合膜的吸收光谱研究
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高等学校化学学报 2002年 第12期23卷 2360-2362页
作者: 芮祥新 季振国 王龙成 汪茫 上田裕清 浙江大学硅材料国家重点实验室 杭州310027 日本神户大学工学部
Nanometer multilayer composite films of lead phthalocyanine(PbPc) and vanadyl phthalocyanine(VOPc) were prepared by vacuum vapor deposition. It is found that a new absorption peak around 940 nm appeared as discovered ... 详细信息
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镧与真空沉积银纳米粒子的金属间化合
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物理学报 2002年 第7期51卷 1649-1653页
作者: 许北雪 吴锦雷 侯士敏 张西尧 刘惟敏 薛增泉 吴全德 北京大学电子学系 北京100871
根据Hume Rothery规则 ,分析了银与镧两元素之间形成金属间化合物的倾向性 ,并根据真空蒸发沉积的条件 ,分析了在真空蒸发沉积情况下镧与银之间形成金属间化合物的可能性 .用X射线光电子能谱化学位移方法对真空蒸发沉积的银、镧薄膜进... 详细信息
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稀土钕对真空沉积银纳米粒子细化作用的研究
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稀有金属材料与工程 2003年 第10期32卷 818-821页
作者: 许北雪 吴锦雷 北京大学 北京100871
稀土元素作为微米级晶粒细化剂在有色和黑色金属工业中已经得到广泛应用,试验采用TEM,EDX,HEED和XRD方法研究了稀土钕对真空沉积的纳米级银粒子的细化作用。结果表明,稀土钕对银纳米粒子有细化作用,与稀土钕相关的成分为非晶态,细化作... 详细信息
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真空沉积
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表面工程:英文版 2005年 第5期 45-47页
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真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究
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真空 2011年 第1期48卷 18-20页
作者: 何庆 刘景全 杨春生 李以贵 芮岳峰 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室 上海200240
本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。
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镧对真空沉积银纳米粒子细化作用的研究
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贵金属 2003年 第3期24卷 22-26页
作者: 许北雪 吴锦雷 北京大学电子学系 北京100871
用透射电子显微镜 (TEM)和X射线衍射 (XRD)等方法研究了稀土元素镧对真空蒸发沉积银纳米粒子的细化作用。实验表明 ,用镧预处理的基底 ,对真空蒸发沉积的银纳米粒子有细化作用 ,可使银纳米粒子的粒度由 2 0~ 30nm减小到约 1 0nm。镧对... 详细信息
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真空沉积TCNQ薄膜的手性分形结构
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物理化学学报 2000年 第7期16卷 579-582页
作者: 李建昌 薛增泉 张浩 曾燕 刘惟敏 吴全德 北京大学电子学系 北京100871
The unique two dimensional chiral “seahorse” like fractal aggregates of pure tetracyanoquinodimethane (TCNQ) and PANI TCNQ complex thin films,deposited by vacuum evaporation,were observed and *** influence of some e... 详细信息
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真空沉积碳化钛镀层技术在机械热处理中的应用
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真空 1977年 第3期 1-10页
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真空沉积双层黑铬选择性涂层
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太阳能学报 1982年 第2期 137-144页
作者: 周邦伟 殷志强 魏志渊 卢锦文 清华大学
本文介绍了用于全玻璃真空管太阳能集热器的真空沉积双层黑铬选择性涂层的工艺和性能。其α_s为89%—91%,ε_n为5%—7%(80℃)。该涂层经300℃—400℃、1小时的烘烤后,α_s和ε_n基本没有变化。 应用激光干涉法,在λ=6328(?)波长下... 详细信息
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