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一种用于真空度测量的光纤传感器

半导体光电 2003年第5期24卷 350-353页

作者：隋成华丰明坤浙江工业大学电子物理研究所浙江杭州310032

　介绍了一种用于测量真空度的光纤传感器,该传感器利用参考腔室中金属薄膜随系统真空度变化而产生线性形变的原理,采用一对450μm芯径的光学光纤分别做发射与接收光纤,通过测量基于光纤和金属薄膜的相对位移对反射光强信号的调制量,来... 详细信息

　介绍了一种用于测量真空度的光纤传感器,该传感器利用参考腔室中金属薄膜随系统真空度变化而产生线性形变的原理,采用一对450μm芯径的光学光纤分别做发射与接收光纤,通过测量基于光纤和金属薄膜的相对位移对反射光强信号的调制量,来确定真空度的变化。给出了该传感器探头的结构设计,并通过实验确定了光纤的最佳排列方式及初始位置。实验表明,在一定条件下该传感器所测得的反射光强信号和真空度的变化呈线性关系,并且具有良好的重复性。

关键词：光纤传感器反射光强真空度测量

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强度调制型光纤传感器在真空度测量中的应用

强度调制型光纤传感器在真空度测量中的应用

作者：丰明坤浙江工业大学

学位级别：硕士

光纤技术无论是在光纤通信领域还是在光纤传感领域都可称得上是一个具有革命性的技术开拓，光纤传感本身具有的优点使其成为研究热点，为现代测量技术的发展提供了一个方向。其中的强度调制型光纤传感技术最具有实用化性，本论文将研究... 详细信息

光纤技术无论是在光纤通信领域还是在光纤传感领域都可称得上是一个具有革命性的技术开拓，光纤传感本身具有的优点使其成为研究热点，为现代测量技术的发展提供了一个方向。其中的强度调制型光纤传感技术最具有实用化性，本论文将研究其调制特性并进行强度调制型光纤真空度传感实验，主要的研究工作包括： 1．分析了强度调制型光纤传感原理。推导了反射式强度调制系数，并利用计算机软件仿真研究了其调制特性;通过实验得出了不同的反射调制方式和光纤束探头结构的特性曲线。 2．通过实验研究了多模光纤弯曲调制特性与弯曲半径及光源波长的关系，并对其特性曲线进行了理论分析。 3．设计了一套强度调制型光纤真空度传感系统，并利用真空腔室金属膜片压差的弹性微形变实现了反射式光纤真空度连续检测。 4．设计了微弯式强度调制型光纤真空度传感系统，并利用弹性管压差的弹性微形变实现了微弯式光纤真空度检测。

关键词：光纤强度调制反射式传感微弯式传感真空度测量

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真空度测量在发动机故障诊断中的应用

中南汽车运输 1998年第3期 23-24页

作者：张伟武刘青长沙市第二汽车修制厂长沙410009 湖南省交通技工学校长沙410007

1故障范例一辆日本本田雅格（Accord）轿车进厂维修，驾驶员反映该车急加速熄火，且加速时从空滤器处发出类似化油器国火放炮的“叭叭”声。经初步分析，怀疑进排气系统有故障。用真空表测量进气歧管处真空度，怠速时真空表指针在45kPa... 详细信息

1故障范例一辆日本本田雅格（Accord）轿车进厂维修，驾驶员反映该车急加速熄火，且加速时从空滤器处发出类似化油器国火放炮的“叭叭”声。经初步分析，怀疑进排气系统有故障。用真空表测量进气歧管处真空度，怠速时真空表指针在45kPa处来回摆动，发动机运转中真空表读数有规律降至37kPa，故确诊为有一缸气门密封不良。拆检气缸盖，发现第二缸进排气门杆弯曲变形，导致该缸进排气门关闭不严。更换气门后试车，故障现象消失。事实上，通过测量发动机进气歧管真空度，可方便地分析出不少故障，且其对故障的诊断范围比通常测量气缸压缩压力方法更为广泛。2真空度测量在故障诊断中的应用现代进口轿车发动机上纵横布置有多根胶管，且

关键词：汽车发动机故障诊断真空度测量

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显象管管内真空度测量的改进

电子器件 1982年第4期 17-22页

作者：吴冲若贺晋

显象管必须在良好的真空环境中方能正常、长效地工作。(?)内真空环境的优劣是造成器件失效的一个重要因素。七十年代国内许多单位对显象管管内真空度的测量作了研究,并已制成专门的显象管含气量测量仪。目前各显象管厂利用成品仪器测量... 详细信息

显象管必须在良好的真空环境中方能正常、长效地工作。(?)内真空环境的优劣是造成器件失效的一个重要因素。七十年代国内许多单位对显象管管内真空度的测量作了研究,并已制成专门的显象管含气量测量仪。目前各显象管厂利用成品仪器测量管内真空度,其测试条件如图一所示。尽管这种测试方式已采用多年。

关键词：真空度测量真空环境仪器测量含气量测试方式一所妥坝仇成武乙上僚

QMEMS晶振的MEMS器件真空度测量方法研究

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国外电子测量技术 2014年第1期33卷 27-31页

作者：王珊珊宋亮党向婷西安工业大学北方信息工程学院电子信息系西安710025 西安机电信息技术研究所西安710065

QMEMS晶振是一种采用MEMS（micro-electro-mechanical system）加工技术充分发挥石英（Quartz）晶体材质特性制造出的高性能、高集成度的新型石英晶振.利用QMEMS晶振体积小、性能稳定的特点,提出将QMEMS晶振作为传感器内置于MEMS器件管... 详细信息

QMEMS晶振是一种采用MEMS（micro-electro-mechanical system）加工技术充分发挥石英（Quartz）晶体材质特性制造出的高性能、高集成度的新型石英晶振.利用QMEMS晶振体积小、性能稳定的特点,提出将QMEMS晶振作为传感器内置于MEMS器件管壳内部,对MEMS器件腔体内部真空度进行实时监测的方法.在对石英晶振测量真空原理进行分析的基础上,研究了QMEMS晶振的结构和管壳开口方法,设计了一套基于QMEMS晶振气压传感器的真空度测量系统,实现了对真空度的测量,并对系统进行了标定.试验表明,该真空计可实现1～30 kPa压强范围的测量,测量精度约为5％,能满足MEMS器件实时真空度测量要求.

关键词： QMEMS 石英晶振真空度测量谐振阻抗

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一种真空开关管真空度测量及校准方法

真空电子技术 2001年第2期14卷 49-51页

作者：史海如吴安恕郑宗仁宁进学湖北孝感国营4404厂 432104

详细介绍了一种真空开关管真空度测量及校准方法。这种方法对规范真空开关管行业真空度测量及校准将起积极的作用。

关键词：真空开关管真空度测量校准

环境大气压的变化规律与差压式真空度测量的系统误差

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环境大气压的变化规律与差压式真空度测量的系统误差

真空获得与测量学术交流会

作者：康强张小洁季中托徐为进泰州市计量测试技术研究所泰州市气象局

差压式真空度测量是0.1-100kPa(1-760乇)范围的一种常用测量方法。这种方法存在着一定的局限性和较大的系统误差。这一点在工程实践中往往被忽视。本文讨论了差压式真空度测量的基本定义以及对其影响较大的环境大气压变化的基本规律,并... 详细信息

差压式真空度测量是0.1-100kPa(1-760乇)范围的一种常用测量方法。这种方法存在着一定的局限性和较大的系统误差。这一点在工程实践中往往被忽视。本文讨论了差压式真空度测量的基本定义以及对其影响较大的环境大气压变化的基本规律,并对误差进行了定量分析。另外,还讨论了如何在工程中正确使用差压式真空度仪表的有关问题。

关键词：真空度测量环境大气压系统误差

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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热真空模拟试验中的真空度测量

中国计量 2012年第6期 95-97,102页

作者：黄光萍南京电子技术研究所

一、热真空模拟试验概述热真空试验就是将产品置于热真空试验设备中,由试验设备提供模拟的空间环境（真空与温度组成）,即是使产品在真空条件下,通过热浸、冷浸形成温度循环,以此考核产品的空间环境适应性。

关键词：热真空试验真空度测量模拟试验试验设备空间环境温度循环环境适应性真空条件

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真空灭弧室真空度的测量与管理

中国新技术新产品 2018年第24期 21-22页

作者：孟丽东芝白云真空开关管(锦州)有限公司辽宁锦州121001

真空灭弧室是真空开关的核心部件,它是以真空作为绝缘和灭弧介质的。真空灭弧室内的真空度将直接影响真空开关的性能。该文介绍了一种脉冲磁控放电法,该方法利用真空灭弧室自身的结构特点制造出真空度测试仪,通过测量放电电流值,并根据... 详细信息

真空灭弧室是真空开关的核心部件,它是以真空作为绝缘和灭弧介质的。真空灭弧室内的真空度将直接影响真空开关的性能。该文介绍了一种脉冲磁控放电法,该方法利用真空灭弧室自身的结构特点制造出真空度测试仪,通过测量放电电流值,并根据放电电流与真空度的关系测量真空灭弧室内部的真空度。该文还介绍了如何计算真空度管理值。利用有效的测量方法和真空度管理,可以有效地控制由于真空灭弧室真空度给电力运行带来的不良后果。

关键词：真空灭弧室真空度测量管理值计算