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部分相干照明条件下物镜表观传递函数的测定

光学精密工程 1987年第1期 45-48页

作者：余景池艾蕾

本文介绍了一种测量部分相干照明条件下表征物镜对基频响应的表观传递函数的方法。这种方法是将干涉仪得到的出瞳处波面的干涉图用Zernike圆多项式逼近,求得波差函数。然后根据部分相干理论计算出表观传递函数。

关键词：相干照明计算程序波差传递函数转移函数物镜表观

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高倍率大景深显微镜照明系统设计

光学仪器 1982年第4期 1-7页

作者：张登臣王锡颖天津大学精仪系

本文从物理光学的部分相干光的干涉和衍射理论出发,对非相干光源成象的复相干度进行计算,得出在照明系统的出瞳上产生相干照明和非相干照明的条件。然后计算出相干照明、非相干照明以及部分相干照明时,显微镜象平面的强度I(P′)。通过... 详细信息

本文从物理光学的部分相干光的干涉和衍射理论出发,对非相干光源成象的复相干度进行计算,得出在照明系统的出瞳上产生相干照明和非相干照明的条件。然后计算出相干照明、非相干照明以及部分相干照明时,显微镜象平面的强度I(P′)。通过对不同的m值的I(P′)计算,得出减少衍射效应的最佳结构参数,即:m=0.75时,象的边缘强度变化最小,分辨率最高,从而扩大显微镜的景深。这个分析结果已经得到实际验证。

关键词：显微镜数值孔径聚光镜物镜出瞳实验设备出射光瞳临界照明相干照明辐射源光源复相干度照明系统设计高倍率鉴别率分辨率大景深

两种照明对物体位相分布的依赖及其在图象判读方面的应用

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西南交通大学学报 1983年第1期 68-77页

作者：方寅亢文敏陈景星

本文讨论以下几个问题: (1)从理论上运用傅立叶频谱分析方法论证了对于同一衍射受限系统,相干照明和非相干照明的效果强烈地依赖于物体的强度分布和位相分布的结论; (2)从实验上通过对一些航摄象片的观察证实了上述结论; (3)在此基础上... 详细信息

本文讨论以下几个问题: (1)从理论上运用傅立叶频谱分析方法论证了对于同一衍射受限系统,相干照明和非相干照明的效果强烈地依赖于物体的强度分布和位相分布的结论; (2)从实验上通过对一些航摄象片的观察证实了上述结论; (3)在此基础上提出在图象判读方面采用两种照明的建议。

关键词：相干照明非相干强度分布位相分布受限系统

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基于计算自适应技术的成像系统像差校正研究

基于计算自适应技术的成像系统像差校正研究

作者：石芬瑜南京理工大学

学位级别：硕士

在传统的光学成像中,成像系统简单化和高成像质量往往是一个矛盾的问题,为了解决这个问题,本文在简单光学系统中,基于计算自适应光学技术,对成像系统像差的校正做了研究,使光学系统直接成的像作为中间像,像差校正后的像为最终像,间接提... 详细信息

在传统的光学成像中,成像系统简单化和高成像质量往往是一个矛盾的问题,为了解决这个问题,本文在简单光学系统中,基于计算自适应光学技术,对成像系统像差的校正做了研究,使光学系统直接成的像作为中间像,像差校正后的像为最终像,间接提高成像质量,这一研究有望降低光学系统设计的难度。本文基于衍射传输理论和相位恢复算法,建立了光学系统光瞳函数的求解模型,并分别用梯度下降法、Fletcher-Reeves（FR）共轭梯度法和随机并行梯度下降法仿真验证了模型的可行性,对这三种优化算法在求解中的优化性能做了比较分析,结果证明随机并行梯度下降法收敛性最好。在求出系统光瞳函数的基础上,建立了在相干照明条件下系统像差校正滤波器的模型,仿真验证了在小视场成像中,用建立的像差校正滤波器校正系统像差的可行性,并且分析了当成像轴向离焦时,用像差校正滤波器校正像差的效果,结果证明在轴向离焦一定范围内,像差校正滤波器对图像仍有校正作用。进一步仿真研究了如果实验中透镜焦点位置定位不准时,对像差校正带来的影响,结果表明当定位的焦点与实际焦点距离相差在0.1mm以内时,像差都可以被有效校正。搭建了小视场成像实验光路,以分辨率板作为成像物,对系统出瞳处的波前做了求解,建立了系统的像差校正滤波器,并对分辨率板所成的像做了校正,校正后像的分辨率显著提升,证明本文提出的像差校正方法可用于成像系统像差的校正。

关键词：计算自适应光学像差校正光瞳函数相干照明像差校正滤波器

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光学系统互强度线扩散函数的实验测定

福建师范大学学报(自然科学版) 1982年第1期 81-88页

作者：徐慎初刘守林易高山沙挺然唐向农福建师范大学物理系七七级福建师范大学物理系激光研究室

本文叙述测定光学系统互强度线扩散函数的实验原理、装置和实验过程。利用这种方法,同时得到了复振幅的线扩散函数和强度的线扩散函数。同时,可用此法获得光学系统在部分相干、完全相干或完全非相干照明下的信息特性。

关键词：互强度线扩散函数相干照明光学系统复振幅完全相干光学传递函数光学转移函数实验测定

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伽柏全息图的一种新物理意义

陕西师范大学学报(自然科学版) 1983年第1期 87-92页

作者：王应宗周衍勋陕西师大物理系

本文从衍射理论和抽样定理出发,提出具有足够好漫射特性的物在相干照明下,其衍射场的强度记录,原则上仍然保持了对场源所有信息的记忆,从而对伽柏全息图给出了一种新的物理注释.同时指出了从通讯理论发展起来的全息概念,可用衍射理论提... 详细信息

本文从衍射理论和抽样定理出发,提出具有足够好漫射特性的物在相干照明下,其衍射场的强度记录,原则上仍然保持了对场源所有信息的记忆,从而对伽柏全息图给出了一种新的物理注释.同时指出了从通讯理论发展起来的全息概念,可用衍射理论提供统一的描述.

关键词：全息图物理注释抽样定理注解参考波衍射理论参考光菲涅尔衍射相干照明物光

应用光学——光学系统设计指南第十九章相干光学系统(续)

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应用光学 1989年第4期10卷 64-72,41页

作者： Leo Levi 张云熙

19.1 完全相干系统和部分相干系统成象 19.1.1 非相干近似和完全相干近似的极限当物体发出非相干辐射时,光学成象系统一般在强度上是线性的(非线性光学中获得的功率除外);当物体以完全相干方式发出辐射时,那么就可以用复数振幅叠加来加... 详细信息

19.1 完全相干系统和部分相干系统成象 19.1.1 非相干近似和完全相干近似的极限当物体发出非相干辐射时,光学成象系统一般在强度上是线性的(非线性光学中获得的功率除外);当物体以完全相干方式发出辐射时,那么就可以用复数振幅叠加来加以处理(不过,这时一些意外的现象可能会打破人们的设想,见第19.1.3节和第19.1.4节)。

关键词：相干光学光学系统设计成象系统相干照明完全相干非相干辐射点扩展函数光学成象调制传递函数散斑

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分离视场显微镜研制报告

电子工业专用设备 1979年第4期 28-33页

作者：张世恩

GX—4型分离视场显微镜,是为配套我所研制的GK一4型半自动光刻机而设计的。其主要特点是成象清晰度好,景深长,观察光线舒适柔和,没有光学“漂移”。这就为提高光刻对准的速度和精度带来了许多方便之处,同时也为接近式光刻提供了有效的... 详细信息

GX—4型分离视场显微镜,是为配套我所研制的GK一4型半自动光刻机而设计的。其主要特点是成象清晰度好,景深长,观察光线舒适柔和,没有光学“漂移”。这就为提高光刻对准的速度和精度带来了许多方便之处,同时也为接近式光刻提供了有效的观察系统。另外,在机械结构上与曝光用的多点光源联接在一起,曝光时,显微镜本体不动,从而提高了设备的稳定性和可靠性。

关键词：主光线分辨率 GX 物镜远心鉴别率掩模版光轴相干照明视场光栏显微镜实验设备光学

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图象等密度切片的光学方法

仪器仪表学报 1982年第1期3卷 40-46页

作者：洪汝桐四川大学

采用一种非单调的突跳型密度分布半色调屏进行密度切片,以减少线是对切片输出的影响。给出了卫星遥感图象等密度抽取的实验结果,实验侧定了切片强度传递函数和切片宽度。和以前报导过的矩形密度分布半色调屏的密度切片[1]相比,改善了切... 详细信息

采用一种非单调的突跳型密度分布半色调屏进行密度切片,以减少线是对切片输出的影响。给出了卫星遥感图象等密度抽取的实验结果,实验侧定了切片强度传递函数和切片宽度。和以前报导过的矩形密度分布半色调屏的密度切片[1]相比,改善了切片强度传递函数的品质。

关键词：半色调强度传递函数密度分布遥感图象光学方法密度差相干照明非单调曝光量并行处理能力

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