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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 动力工程及工程热...

主题

  • 1 篇 相位移掩膜板
  • 1 篇 黑矩阵
  • 1 篇 线宽
  • 1 篇 背面曝光

机构

  • 1 篇 成都京东方光电科...

作者

  • 1 篇 靳福江
  • 1 篇 卢兵
  • 1 篇 罗峰
  • 1 篇 范峻
  • 1 篇 代伟男
  • 1 篇 刘华
  • 1 篇 柳星
  • 1 篇 朱凤稚

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=相位移掩膜板"
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新型TFT-LCD黑矩阵的细线化研究
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液晶与显示 2014年 第4期29卷 521-526页
作者： 靳福江 卢兵 朱凤稚 罗峰 柳星 代伟男 刘华 范峻 成都京东方光电科技有限公司 四川成都611731
介绍了新型TFT LCD黑矩阵细线化研究.在原有工艺设备的基础上,突破设备局限和工艺瓶颈,通过引入相掩膜技术和背面曝光设备,达到进一步减小黑矩阵线宽的效果.实验测试结果显示：在普通掩膜板设计上应用相位移掩膜板技术,降低透光区边缘... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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