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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 2 篇 皮拉尼传感器
  • 1 篇 微热板
  • 1 篇 真空传感器
  • 1 篇 cmos工艺
  • 1 篇 半导体加工设备
  • 1 篇 mems

机构

  • 2 篇 大连理工大学

作者

  • 2 篇 汪家奇
  • 1 篇 唐祯安

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=皮拉尼传感器"
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与CMOS工艺兼容的皮拉尼传感器研究
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传感技术学报 2013年 第1期26卷 31-33页
作者： 汪家奇 唐祯安 大连理工大学半导体技术学院 电子科学与技术学院辽宁大连116024
皮拉尼传感器广泛用于105Pa～10-1Pa的粗真空测量。本文在基于MEMS工艺的皮拉尼传感器的基础上研制了一款与标准CMOS工艺兼容的皮拉尼传感器。它采用钨微热板作为敏感元件,工作在恒电流模式下。该传感器利用0.5μm标准CMOS工艺加工,对10... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用
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实验技术与管理 2018年 第1期35卷 92-94,103页
作者： 汪家奇 大连理工大学微电子学院 辽宁大连116023
为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感105~10-1 Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于... 详细信息
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