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非接触白光干涉法测量圆柱筒壁厚

仪器仪表学报 1994年第1期15卷 94-96页

作者：陈计金中国航空精密机械研究所

0 引言在科研和生产实践中,常会碰到一些精密测量圆柱筒壁厚的问题,在材料刚性较好而精度要求又不很高时,可用机械的或电磁的方法实现,但对于要求高精度而材料的刚性又不很好,特别是当筒壁厚度与内径相比相当小时,这种接触测量方式很... 详细信息

0 引言在科研和生产实践中,常会碰到一些精密测量圆柱筒壁厚的问题,在材料刚性较好而精度要求又不很高时,可用机械的或电磁的方法实现,但对于要求高精度而材料的刚性又不很好,特别是当筒壁厚度与内径相比相当小时,这种接触测量方式很难实现。

关键词：圆柱筒壁厚非接触测量白光干涉法

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白光干涉法测量磁头和磁盘的间距

物理 1987年第4期 230-231页

作者：陆中秀李昆西北电讯工程学院

随着计算机容量的增大,磁盘上相邻磁道的间距越来越小,与之相应的磁头和磁盘之间的距离(简称头-盘间隙)也随之减小.头-盘间隙一般是指浮动块和磁盘之间的最小距离.头-盘间隙和浮动块相对于磁盘的姿态.对于记录质量有较大影响.本文扼要... 详细信息

随着计算机容量的增大,磁盘上相邻磁道的间距越来越小,与之相应的磁头和磁盘之间的距离(简称头-盘间隙)也随之减小.头-盘间隙一般是指浮动块和磁盘之间的最小距离.头-盘间隙和浮动块相对于磁盘的姿态.对于记录质量有较大影响.本文扼要介绍白光干涉法测头-盘间隙以及色标的制作方法. 一、原理白光干涉法测头-盘间隙是在单色光等厚干涉基础上发展起来的。可以和用一个旋转的光学盘(材料为K9玻璃)来模拟磁盘.当支撑架上浮动块被推入光学盘下方时,浮动块在盘下浮动情况和在磁盘上浮动情况相同.浮动块在光学盘下浮动,形成头-盘间隙.如图1所示,当一束光射到头-盘间隙上,在正入射情况下,头-盘间隙的反射率为[1]式中’ol为头-盘间隙上表面(光学盘和空气a可的界面)的反射系数,,;。为头-盘间隙下表面(空气和符动块材料之间的界面)的反射系数,r。;和,;。除了和界面的村料、表面情况有关外,还是波长的函数,又为波长,d为头-盘间隙. 当人射辐射的能量分布为E(幻的白光照射头.捌旬隙对,各种波长的光都以不同的反射卒发生反射.形成彩色千涉条纹.千涉条纹的色度,可以用国际照明委员会(QE)规定的色系中的三个色坐标X,y,。来表示‘”.反射...

关键词：白光干涉法干涉条纹磁盘计算机外围设备磁头磁记录器

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金属表面粗糙度的白光干涉法测量实验研究

科学技术创新 2021年第2期 39-40页

作者：赵乐姬宁博李高益西安工业大学陕西西安710021

金属表面的轮廓误差非接触测量一直以来是一个研究热点,白光干涉法作为一种常用的非接触测量手段,具有非接触、精度高、效率高等优势,本研究采用白光干涉法对粗糙度样块进行测量,探究该方法测量表面粗糙度的可行性及测量的优缺点。

关键词：表面粗糙度白光干涉法粗糙度样块

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快速稳定的白光干涉测量法

激光与光电子学进展 2017年第5期54卷 214-220页

作者：董一帆万新军孟涵解树平上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093

为了减少白光干涉法的采样数据和计算成本,提高测量速度,提出了一种快速稳定的白光干涉测量方法。根据白光干涉显微镜模型,对光学干涉法的数学模型进行了推导分析,确定了干涉光强函数与包络函数之间的关系。在此基础上,提出利用加大采... 详细信息

为了减少白光干涉法的采样数据和计算成本,提高测量速度,提出了一种快速稳定的白光干涉测量方法。根据白光干涉显微镜模型,对光学干涉法的数学模型进行了推导分析,确定了干涉光强函数与包络函数之间的关系。在此基础上,提出利用加大采样间隔的离散采样点的希尔伯特变换函数提取干涉信号包络算法,并基于采样原理分析确定了符合算法的采样间隔条件。通过仿真实验对该算法的有效性进行了验证。实际样品的白光干涉光强信号存在直流(DC)偏置噪声,影响快速白光干涉测量法的稳定性,因此采用中值滤波法消除背景噪声,分析滤波后干涉光强包络的质量。通过白光干涉显微镜装置进行了实际样品白光干涉图像采集,并对不同倍率采样间隔重构的三维表面形貌图进行比较。结果表明,该快速算法重构三维形貌的速度相比传统方法提高了20倍,同时增强了稳定性。

关键词：测量白光干涉法三维表面形貌希尔伯特变换采样间隔噪声滤波

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掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度

核技术 2012年第4期35卷 255-259页

作者：杜韦陶宋丽王玉柱罗红心张翼飞王劼中国科学院上海应用物理研究所上海201204

在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系。在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散... 详细信息

在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系。在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散射分布并进行处理,计算出两块反射镜的表面均方根粗糙度(RMS)。与白光干涉法测量结果的比对结果表明,根据这种理论进行数据处理得到的RMS值,与白光干涉法的测量结果非常符合。

关键词：功率谱密度(PSD) 均方根粗糙度(RMS) 掠入射X射线散射法(GIXRS) 超光滑表面同步辐射光源白光干涉法

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非混粉电火花镜面加工及表面质量检测

纳米技术与精密工程 2015年第1期13卷 62-68页

作者：隋修武刘观平周铎胡腾范博学天津工业大学机械工程学院天津300387 天津市现代机电装备技术重点实验室(天津工业大学) 天津300387

采用解析法和有限元分析方法,分析了各因素对电火花加工表面质量的影响,提出了一种在电火花放电加工过程中逐级改变加工电规准,并依次加大电极的摇动量进行镜面加工的方法.提出应用白光干涉方法测量镜面加工工件表面质量的微观形貌,具... 详细信息

采用解析法和有限元分析方法,分析了各因素对电火花加工表面质量的影响,提出了一种在电火花放电加工过程中逐级改变加工电规准,并依次加大电极的摇动量进行镜面加工的方法.提出应用白光干涉方法测量镜面加工工件表面质量的微观形貌,具有非接触、高精度等特点,垂直分辨力达到纳米级.实验表明在非混粉加工液中,不更换电极且被加工工件为45#钢的情况下,利用白光干涉测量法检测出电火花镜面加工的工件表面粗糙度Ra为0.02μm,满足电火花镜面加工精度的要求.

关键词：电火花加工有限元分析镜面加工白光干涉法微观形貌

光子晶体光纤环偏振耦合强度温度特性实验研究

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激光与光电子学进展 2015年第4期52卷 52-57页

作者：李彦孙彦凤宋镜明王旭北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100191

以光子晶体光纤环为研究对象,利用白光干涉仪测试了不同温度下保偏光子晶体光纤环和普通保偏光纤环内部的偏振交叉耦合强度分布,分析了光纤环中固定耦合点不同温度下的偏振耦合强度变化。结果表明,在-40℃~50℃的温度条件下,保偏光子晶... 详细信息

以光子晶体光纤环为研究对象,利用白光干涉仪测试了不同温度下保偏光子晶体光纤环和普通保偏光纤环内部的偏振交叉耦合强度分布,分析了光纤环中固定耦合点不同温度下的偏振耦合强度变化。结果表明,在-40℃~50℃的温度条件下,保偏光子晶体光纤环偏振耦合强度最大变化率为0.97%;普通保偏光纤环偏振耦合强度的变化率为4.71%,约为保偏光子晶体光纤环的5倍。实验研究证明,光子晶体光纤环的偏振交叉耦合强度温度稳定性高于普通保偏光纤环的偏振交叉耦合强度的温度稳定性。

关键词：相干光学温度特性白光干涉法偏振耦合强度光子晶体光纤环

干涉法表面形貌测量使用的扩展深度测量范围的方法

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光学精密工程 1999年第4期7卷 1-8页

作者：周明宝中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209

系统归纳了在干涉法表面形貌测量中使用的用来扩展深度测量范围的各种方法，分析了这些方法的原理、特性及性能指标，比较了这些方法的优越性。

关键词：干涉表面形貌测量多波长法白光干涉法

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白光干涉测量控制系统的集成化设计

半导体技术 2021年第9期46卷 739-743页

作者：周勇蔡潇雨魏佳斯上海计测信息科技有限公司上海200234 上海市计量测试技术研究院上海201203

微纳技术的发展带动了微纳米检测计量仪器的发展,微纳米测量仪器的智能化、集成化和小型化是仪器研发中的共性问题。在白光干涉测量系统中,设计了基于STM32处理器的控制系统,该系统将原本分立的光源控制、相机控制和样品台控制等控制模... 详细信息

微纳技术的发展带动了微纳米检测计量仪器的发展,微纳米测量仪器的智能化、集成化和小型化是仪器研发中的共性问题。在白光干涉测量系统中,设计了基于STM32处理器的控制系统,该系统将原本分立的光源控制、相机控制和样品台控制等控制模块集成构建于一台控制器。针对白光干涉测量系统的控制需求设计开发了驱动电路、通信电路、光源控制电路和相机触发电路等。设计优化了信号同步、光源控制策略,从而提高了扫描同步性和测量稳定性。控制系统的集成化设计有效提高了光学三维轮廓仪的小型化和集成性,降低了仪器的制造和维护成本。

关键词：白光干涉法控制系统集成化设计 STM32处理器微纳测量