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表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试

中国机械工程 2005年第z1期16卷 401-403,406页

作者：许高斌汪家文合肥工业大学合肥230009 合肥工业大学合肥230009

提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应... 详细信息

提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应用价值和借鉴意义.

关键词：电阻温度系数多晶硅薄膜表面微加工在线测试

退火对PECVD制备的掺磷硅薄膜及其电阻温度系数影响的研究

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人工晶体学报 2007年第2期36卷 448-452,459页

作者：马铁英李铁刘文平王跃林中国科学院微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室

本文对采用PECVD技术制备的不同掺杂比掺磷硅薄膜在不同退火时间和温度下的结构和电阻温度系数进行了研究。拉曼散射光谱结果表明:未退火样品主要为非晶/微晶混合相;当退火温度从500℃上升到700℃,薄膜结构呈现出先向非晶相转变,后完全... 详细信息

本文对采用PECVD技术制备的不同掺杂比掺磷硅薄膜在不同退火时间和温度下的结构和电阻温度系数进行了研究。拉曼散射光谱结果表明:未退火样品主要为非晶/微晶混合相;当退火温度从500℃上升到700℃,薄膜结构呈现出先向非晶相转变,后完全晶化的趋势,与此同时,电阻率和电阻温度系数随掺杂浓度及退火温度的增加而单调减小。文中我们采用Lu的模型对上述实验结果进行了解释,认为由Si-P键构成的晶界势垒高度的变化是上述实验结果的根本原因。

关键词：退火拉曼散射电阻温度系数

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导电炭黑填充硅橡胶的电阻温度系数

功能材料 2012年第3期43卷 383-386页

作者：蒋红生黄英杨庆华高峰刘平合肥工业大学电子科学与应用物理系安徽合肥230009 中国科学院合肥智能机械研究所安徽合肥230031 中国科学技术大学自动化系安徽合肥230027

以炭黑(CB3100)为导电相,硅橡胶为基质制备导电复合材料。研究导电橡胶中炭黑质量分数对电阻温度系数的影响,并用填料对电阻温度系数的影响。以隧道效应理论为基础,给出了导电炭黑填充橡胶的电阻温度系数计算模型,结合实验得到温度对导... 详细信息

以炭黑(CB3100)为导电相,硅橡胶为基质制备导电复合材料。研究导电橡胶中炭黑质量分数对电阻温度系数的影响,并用填料对电阻温度系数的影响。以隧道效应理论为基础,给出了导电炭黑填充橡胶的电阻温度系数计算模型,结合实验得到温度对导电炭黑/硅橡胶电阻温度系数的影响主要体现在对其电阻率的影响;基体的体积热膨胀提高复合材料的电阻率,提高了正电阻温度系数;炭黑粒子间的隧道效应降低复合材料的电阻率,增强了负电阻温度系数;在炭黑/硅橡胶中加入少量碳纳米管,利用碳纳米管和炭黑的协同补强效应,使复合材料的导电性和稳定性提高。

关键词：导电橡胶隧道效应电阻温度系数碳纳米管协同效应

高电阻温度系数的La_(0.67)(Ca_(0.33-x)Sr_x)MnO_3多晶陶瓷制备与电学性能研究

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人工晶体学报 2015年第1期44卷 122-126页

作者：崔琦张辉王文章张斌罗均美陈清明昆明理工大学材料科学与工程学院昆明650093

采用溶-凝胶法在1450℃烧结12 h的条件下,制备了x组分为0、0.01、0.03、0.05、0.06、0.07的La0.67(Ca0.33-xSrx)MnO3(LCSMO)多晶陶瓷,通过R-T、XRD和SEM测试分析,结果表明,溶胶-凝胶方法制备的LCSMO多晶陶瓷其物相较纯,阻温特性良好,晶... 详细信息

采用溶-凝胶法在1450℃烧结12 h的条件下,制备了x组分为0、0.01、0.03、0.05、0.06、0.07的La0.67(Ca0.33-xSrx)MnO3(LCSMO)多晶陶瓷,通过R-T、XRD和SEM测试分析,结果表明,溶胶-凝胶方法制备的LCSMO多晶陶瓷其物相较纯,阻温特性良好,晶粒尺寸大,致密度高。在未掺Sr时,该体系电阻温度系数(TCR)达到最高值42.5%。随着Sr掺杂比增加,金属-绝缘体转变温度TP升高,TCR降低,而在TP达到室温时,LCSMO多晶陶瓷具有较大的TCR(9%以上)。在LCSMO多晶体系中如此大的TCR较为罕见,使其具有重要的潜在应用价值。

关键词： La0.67(Ca0.33-xSrx)MnO3 溶胶-凝胶法电阻温度系数金属-绝缘体转变

利用制备参数的改变调整VO_2薄膜的电阻温度系数

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半导体光电 2001年第3期22卷 181-183页

作者：卢勇林理彬四川大学物理系辐射物理及技术教育部重点实验室四川成都610064

利用真空还原方法 ,通过合理控制时间和真空退火温度 ,制备出具有优良热致相变特性的VO2 薄膜 ,并对不同真空还原时间、真空退火温度和衬底条件下制备的VO2 薄膜结构和半导体相的电阻温度系数进行了研究。结果表明 ,不同制备参数对所得... 详细信息

利用真空还原方法 ,通过合理控制时间和真空退火温度 ,制备出具有优良热致相变特性的VO2 薄膜 ,并对不同真空还原时间、真空退火温度和衬底条件下制备的VO2 薄膜结构和半导体相的电阻温度系数进行了研究。结果表明 ,不同制备参数对所得薄膜的结构和价态有显著影响 ,从而对VO2 的电阻温度系数产生较大调整。

关键词：热致相变电阻温度系数二氧化钒薄膜

掺磷a-Si∶H红外薄膜电阻率及电阻温度系数研究

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半导体光电 2007年第1期28卷 80-82,103页

作者：史磊李伟匡跃军廖乃镘蒋亚东电子科技大学光电信息学院四川成都610054

用等离子体增强化学气相沉积方法制备了掺磷氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率以及电阻温度系数进行了详细研究。结果表明,掺磷a-Si∶H薄膜的电阻率随磷掺杂比(PH3/SiH4)的增大和气体温度的升高而降低,但随退火温度的升高而增大;掺磷a... 详细信息

用等离子体增强化学气相沉积方法制备了掺磷氢化非晶硅薄膜材料,对薄膜的电阻率以及电阻温度系数进行了详细研究。结果表明,掺磷a-Si∶H薄膜的电阻率随磷掺杂比(PH3/SiH4)的增大和气体温度的升高而降低,但随退火温度的升高而增大;掺磷a-Si∶H薄膜的电阻温度系数随薄膜自身电阻率的增大而增大,但随环境温度的升高而降低。

关键词：等离子体增强化学气相沉积掺磷非晶硅薄膜电阻率电阻温度系数

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室温红外探测薄膜电阻温度系数测试技术

半导体光电 2006年第1期27卷 49-51页

作者：赵凯生刘爽龙再川杜昊冯林电子科技大学光电信息学院四川成都610054 重庆光电技术研究所重庆400060

薄膜电阻温度系数的准确测定对红外探测薄膜材料的研究有着十分重要的意义。研究了薄膜电阻温度系数实时测试技术,重点考虑微弱信号放大和噪声有效抑制,实现了微小间隔下对温度和电阻同时采集,以及数据的精确处理。采用该测试系统准确... 详细信息

薄膜电阻温度系数的准确测定对红外探测薄膜材料的研究有着十分重要的意义。研究了薄膜电阻温度系数实时测试技术,重点考虑微弱信号放大和噪声有效抑制,实现了微小间隔下对温度和电阻同时采集,以及数据的精确处理。采用该测试系统准确地测试出几种常用红外探测薄膜材料的电阻温度系数。

关键词：室温红外探测薄膜电阻温度系数测试技术

烧结温度对ZnO陶瓷线性电阻温度系数的影响

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陶瓷学报 2023年第6期44卷 1162-1167页

作者：宁宇任鑫廖汉卿陈勇刚杨莉禹张翼王海珍姚政上海大学理学院纳米科学与技术研究中心上海200444 广东福德电子有限公司广东东莞523920

采用传统的ZnO+MgO+Al_(2)O_(3)+SiO_(2)配方体系氧化锌线性电阻,探究了烧结温度对氧化锌基线性电阻的电阻温度系数和微观结构的影响。实验结果显示,随着烧结温度的降低,电阻值由毫欧级提高到欧姆级,当烧结温度在1340℃时,其电阻温度系... 详细信息

采用传统的ZnO+MgO+Al_(2)O_(3)+SiO_(2)配方体系氧化锌线性电阻,探究了烧结温度对氧化锌基线性电阻的电阻温度系数和微观结构的影响。实验结果显示,随着烧结温度的降低,电阻值由毫欧级提高到欧姆级,当烧结温度在1340℃时,其电阻温度系数是完全的负数;烧结温度在1320℃时,电阻温度系数由负转正;当烧结温度降至1280℃时,电阻温度系数完全转为正系数。

关键词： ZnO线性电阻线膨胀系数电阻温度系数孔隙率

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氧压对ZnO薄膜电阻温度系数的影响

压电与声光 2011年第2期33卷 284-286页

作者：周小芳张辉李勇张鹏翔长治学院电子信息与物理系山西长治046000 昆明理工大学光电子新材料研究所云南昆明650051

采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在不同氧气氛下,在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,使用X线衍射仪分析了ZnO薄膜的结晶质量。计算了不同氧气氛下生长的ZnO薄膜的电阻温度系数(TCR)值,发现随着氧分压降低,ZnO薄膜的TCR值增大;ZnO薄膜的TCR值最... 详细信息

采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在不同氧气氛下,在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,使用X线衍射仪分析了ZnO薄膜的结晶质量。计算了不同氧气氛下生长的ZnO薄膜的电阻温度系数(TCR)值,发现随着氧分压降低,ZnO薄膜的TCR值增大;ZnO薄膜的TCR值最高可达-8%/K。这为研究ZnO薄膜的导电特性提供了新的途径,开辟了ZnO薄膜在室温非制冷红外微测辐射热计材料中的应用潜力。

关键词： ZnO薄膜电阻温度系数脉冲激光沉积(PLD)