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学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 计算机科学与技术...

主题

  • 1 篇 热氧化法
  • 1 篇 原子层沉积法
  • 1 篇 sio2薄膜
  • 1 篇 电荷陷阱型v-nand
  • 1 篇 化学气相沉积法

机构

  • 1 篇 西安航空学院

作者

  • 1 篇 张刘超
  • 1 篇 周影影

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=电荷陷阱型V-NAND"
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SiO2薄膜在电荷陷阱型v-nand中的应用及制备方法
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功能材料与器件学报 2019年 第4期25卷 240-246页
作者： 周影影 张刘超 西安航空学院 西安陕西710077
电荷陷阱型v-nand技术具有较低的单位存储成本,优异的写入与读取速度,高可靠性等优点被越来越广泛地使用。SiO2在v-nand中被广泛用作隔离氧化层,隧穿氧化层,介电层以及离子注入掩模等。本文阐述了电荷陷阱型v-nand基本存储单元的物理和... 详细信息
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