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热阴极电离真空规测量故障分析和改进

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真空 1997年第1期34卷 27-29页

作者：闻一之万树德邓必河中国科技大学近代物理系

本文讨论分析了有气体工作的真空室内，使用热阴极电离规测量真空度时，有关的故障问题。

关键词：热阴极电离规真空测量故障分析电离真空规

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电离真空规所在位置对测量结果的影响

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真空 2020年第5期57卷 57-60页

作者：崔寓淏窦仁超师立侠刘兴悦北京卫星环境工程研究所北京100094

利用蒙特卡洛方法对电离真空规所在不同位置所测得的系统真空度进行数值模拟。建立了真空容器、规管安装位置以及真空泵入口的几何模型,考虑了系统材料放气,计算了电离真空规安装在系统不同位置所测得的真空度,计算了电离真空规探头与... 详细信息

利用蒙特卡洛方法对电离真空规所在不同位置所测得的系统真空度进行数值模拟。建立了真空容器、规管安装位置以及真空泵入口的几何模型,考虑了系统材料放气,计算了电离真空规安装在系统不同位置所测得的真空度,计算了电离真空规探头与连接法兰管道口之间距离对测量结果的影响。研究结果表明:相比于电离规安装位置,电离规探头与法兰管道口之间距离H对电离真空规的测量结果影响更为明显。本文为电离真空规法兰短管长度设计以及真空系统实际真空度的预判提供理论依据。

关键词：电离真空规蒙特卡洛方法分子流

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极高真空电离真空规

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仪器仪表学报 1980年第2期1卷 59-67页

作者：李旺奎钦菊美章其中丁立华

研制成功了三种结构的具有管型电子倍增器的电离规,企图解决低到10^(-14)托的压强测量问题。新型倍增器在极高真空测量中的应用,为解决10^(-13)～10^(15)托的测量难题提供了新的可能。

关键词：极高真空电离真空规电子倍增器热阴极本底计数收集极电离效率真空测量仪器仪表学报导体膜

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轴向式热磁控抑制电离真空规

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真空科学与技术学报 1990年第4期21卷 219-222页

作者：陈建中孙企达郭元恒上海市电真空器件研究所机电部上海电动工具研究所北京大学物理系

本文提出一种在轴向式热磁控电离真空规的基础上发展的热磁控抑制电离真空规。它主要在前者的收集极前增设了一个很小的抑制极。由于其对离子收集极的残余光电流的抑制作用,在发射电流为10^(-6)A、抑制电压为-500V和工作磁场为3000e时,... 详细信息

本文提出一种在轴向式热磁控电离真空规的基础上发展的热磁控抑制电离真空规。它主要在前者的收集极前增设了一个很小的抑制极。由于其对离子收集极的残余光电流的抑制作用,在发射电流为10^(-6)A、抑制电压为-500V和工作磁场为3000e时,其最低可测压强至少可达≤10^(-14)Pa。与Visser在Lafferty的热磁控规基础上提出的热磁控抑制规相比‘它除了Px外‘还具有灵敏度高、金属电极面小、结构简单、除气容易以及采用低温工作阴极等特点。它在无磁场时线性测量上限为1.33×10^(-2)Pa(发射电流为1×10^(-3)A)。