检索结果-南通市图书馆

仪器仪表学报 2003年第2期24卷 148-151页

作者：钱新钱春华解放军理工大学理学院南京211101

旨在开发一种计算简单的电容压力传感器的模型 ,以便经济、可靠地应用。分析表明采用新型函数链接型神经网络建立的电容压力传感器模型能够精确读出应用压力 ,它是一种能实现输入到输出的高度非线性映射并且运算高效的非线性网络。

关键词：函数链接型神经网络电容压力传感器多层感知器运算复杂性建模

电容压力传感器与电子血压计的结构原理及电子血压计的校准

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中国医学装备 2013年第3期10卷 44-46页

作者：王黎明苏艳玲王森白山市中心医院设备科吉林白山134300 白山市图书馆吉林白山134300 白山市中心医院神经内科吉林白山134300

目的:通过对电容压力传感器与电子血压计的结构、原理进行分析,修复受损的电容压力传感器,并对修复后的血压计进行校准。方法:利用常见的正常血压计做为标准压力计,使两血压计处于同一压力水平来校准血压计。结果:电容压力传感器修复后... 详细信息

目的:通过对电容压力传感器与电子血压计的结构、原理进行分析,修复受损的电容压力传感器,并对修复后的血压计进行校准。方法:利用常见的正常血压计做为标准压力计,使两血压计处于同一压力水平来校准血压计。结果:电容压力传感器修复后经过对血压计的校准达到其使用标准。结论:电容压力传感器在电子血压计中相对为易损元件且参数易改变,本文所采用的修复方法及校准电子血压计的方法易于普及。

关键词：电容压力传感器电子血压计校准频率调制

静电纺丝CNTs/MXene/PVP复合纤维膜的制备及电容压力传感器性能检测

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传感器技术与应用 2023年第6期11卷 447-453页

作者：张敏顾宏天津工业大学物理科学与技术学院天津

本文主要利用静电纺丝法制备CNTs/MXene/PVP复合纤维膜作为电容压力传感器介电层,扫描电子显微镜对二维材料MXene进行形貌表征。通过一系列传感器性能研究,结果得出使用静电纺丝制备出的纤维膜比表面积大、力学性能好,灵敏度可达到0.533... 详细信息

本文主要利用静电纺丝法制备CNTs/MXene/PVP复合纤维膜作为电容压力传感器介电层,扫描电子显微镜对二维材料MXene进行形貌表征。通过一系列传感器性能研究,结果得出使用静电纺丝制备出的纤维膜比表面积大、力学性能好,灵敏度可达到0.53323 kPa−1、宽检测范围(0~10 kPa)、快速响应时间(响应时间150 ms、恢复时间200 ms)、低迟滞性(滞后误差8.8%)。说明该电容压力传感器未来在人机交互、医疗监测具有良好的发展潜力。

关键词：静电纺丝磁控溅射 CNTs/MXene 复合纤维膜电容压力传感器

SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展

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传感器与微系统 2018年第12期37卷 1-4,12页

作者：余开庆程萍丁桂甫 Roya MABOUDIAN 赵小林姚景元上海交通大学微米/纳米加工技术重点实验室上海200240 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系上海200240 美国加州大学伯克利分校伯克利传感器与执行器中心美国加州94720

综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。

关键词：碳化硅微加工工艺高温电容压力传感器

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MEMS电容式压力传感器检测电路比较研究

电子科技 2015年第1期28卷 186-189页

作者：黄雨濛戚昊琛胡智文张鉴合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽合肥230009 浙江传媒学院新媒体学院浙江杭州310018

介绍了MEMS电容式压力传感器检测电路的5种实现方式:脉宽调制法、运算放大器法、电荷注入法、调频法和AC运放法。并从稳定性、测量灵敏度及抗杂散性等方面介绍了不同方式下检测电路的优缺点,为MEMS电容式压力传感器提供了参考。

关键词：微电子机械系统电容压力传感器检测电路优缺点

电容压力传感器的函数链接型神经网络建模方法

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解放军理工大学学报（自然科学版） 2002年第3期3卷 60-63页

作者：钱新龚烈航解放军理工大学工程兵工程学院南京210007

旨在开发一种计算简单的电容压力传感器的模型 ,以便经济、可靠地应用。分析表明 ,采用新型函数链接型神经网络建立的电容压力传感器模型 ,能够精确读出应用压力。它是一种能实现输入到输出的高度非线性映射并且运算高效的非线性网络。

关键词：函数链接型神经网络电容压力传感器多层感知器运算复杂性

自主研发的传感器应实现产业化：硅电容压力传感器及其产业化

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世界仪表与自动化 2008年第4期12卷 20-23页

作者：徐开先（特约主持人）沈阳仪表科学研究院教授级高级工程师

传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。压力测量是工业过程控制中3大重要测量参数... 详细信息

传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。压力测量是工业过程控制中3大重要测量参数之一．压力传感器在工业自动化仪表中尤显重要，这次本栏目向读者介绍的3种压力传感器产品：

关键词：电容压力传感器产业化自主研发工业自动化仪表工业过程控制传感技术测量参数输出信号

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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制

MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制

第十届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：庞程赵湛杜利东中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

基于 MEMS 的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用 ANSYS 软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺：利用 KOH 各向异性腐蚀进行硅片大... 详细信息

基于 MEMS 的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用 ANSYS 软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺：利用 KOH 各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄,分析了其浓度配比对硅面平整度特性的影响,采用阳极键合形成真空腔,试验反应离子深刻蚀形成硅膜的效果。芯片测试结果表明方案可行。

关键词：电容压力传感器各向异性腐蚀阳极键合反应离子深刻蚀

来源： cnki会议评论

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电容式压力微传感器及其无线测量系统

电容式压力微传感器及其无线测量系统

作者：许金海厦门大学

学位级别：硕士

接触式电容压力传感器不仅具有一般电容式传感器灵敏度高等优点，而且在其测量的压力范围内，传感器的输出电容与载荷呈分段线性关系，因此与其它需要改进电极结构和测量电路进行非线性补偿的电容式压力传感器来讲，具有结构简单、性能... 详细信息

接触式电容压力传感器不仅具有一般电容式传感器灵敏度高等优点，而且在其测量的压力范围内，传感器的输出电容与载荷呈分段线性关系，因此与其它需要改进电极结构和测量电路进行非线性补偿的电容式压力传感器来讲，具有结构简单、性能优越、抗过载能力和抗干扰能力强等优点。由于微传感器的测量分辨输出电容很小，远远小于皮法，如何提高小电容的测量电路的灵敏度和改善全量程测试中的非线性直接影响传感器的性能。MEMS(Micro Elcetro-Mechanical System)技术和IC(Integrated Circuit)以及计算机技术的发展，使得半导体压力传感器与其测量电路的集成和非线性补偿电路的集成成为可能，这是未来传感器发展的趋势。传感器的微型化发展趋势和IT技术的高度发展，以及某些特殊应用的特殊要求，对传感器的测量精度、测量环境和测量方式提出了更高的要求，而恶劣封闭的测量环境往往要求微型传感器系统具有远程测量的功能。MEMS技术、IC技术和IT(Information Technology)技术的发展为传感器测量系统实现无线化提供了坚实的基础。目前有关MEMS集成系统、无线MEMS技术和基于微传感器的无线MEMS系统在IEEE的各种刊物上已经有一些相关的报道，但相关的产业化研究报道很少。用接触式电容压力传感器为调制信号源的无线传输系统国、内外未见相关报道。本文的主要研究工作如下： 1．以接触式电容压力传感器为基础，通过对它的非线性力学模型的分析，提出了由集成电路构成的考虑力学模型特点的具有非线性补偿的电容测量电路和模型以及由接触式电容压力传感器构成的无线通讯系统。 2．根据接触式电容压力传感器具有两个分段线性测量区域的特点，以模拟乘法器为核心部件，利用它的鉴相特性，设计了高线性度(线性度约为3.42％)和高灵敏度(28mV/pF)的电容测量电路，解决了电容式传感器的小电容测量问题，提出了可实现接触式传感器全量程准线性的测量。 3．为便于实现传感器与测量电路的集成，基于开关电容电路的原理设计出了频率输出的CMOS电容信号处理电路。 4．以MEMS工艺和CMOS电路为基础，对传感器的无线测量电路进行了解析研究，设计了以CMOS吉尔伯特单元为核心的移相键控调制解调无线通讯电路。 5．通过仿真实验和电路实验，验证了电容式压力传感器小电容信号测试和无线测量系统的可行性。

关键词：电容压力传感器接触式测量电路无线测量系统

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MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制

微纳电子技术 2007年第7期44卷 249-251,278页

作者：庞程赵湛杜利东中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室

基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺:利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大... 详细信息

基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺:利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄,分析了其浓度配比对硅面平整度特性的影响,采用阳极键合形成真空腔,试验反应离子深刻蚀形成硅膜的效果。芯片测试结果表明方案可行。

关键词：电容压力传感器各向异性腐蚀阳极键合反应离子深刻蚀