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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 核科学与技术

主题

  • 1 篇 硅化
  • 1 篇 真空室
  • 1 篇 再循环
  • 1 篇 真空壁条件
  • 1 篇 电子碰撞离解
  • 1 篇 hl-1m装置

机构

  • 1 篇 核工业西南物理研...

作者

  • 1 篇 刘建宏
  • 1 篇 黄永康
  • 1 篇 崔成和
  • 1 篇 梁雁
  • 1 篇 张炜
  • 1 篇 严东海
  • 1 篇 王恩耀
  • 1 篇 许正华

语言

  • 1 篇 中文
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HL-1M装置真空室硅化的研究
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核聚变与等离子体物理 2001年 第4期21卷 245-252页
作者： 严东海 王恩耀 崔成和 梁雁 许正华 张炜 刘建宏 黄永康 核工业西南物理研究院 成都610041
GDC(He +SiH4 )是为HL 1M装置研制的一种常规壁处理技术。在He辉光等离子体条件下 ,通过气相中的电子碰撞离解、电离、离子 分子反应和在壁面上的He+ 诱导脱H2 过程 ,在清洁的真空壁表面沉积一层无定形、半透明、致密的氢化硅 (α Si... 详细信息
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