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气体吸收-电感耦合等离子体三重四极杆质谱(ICP-MS/MS)法测定电子工业高纯氩气中44种超痕量元素

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中国无机分析化学 2024年第7期14卷 963-972页

作者：陈婷婷李鹰徐岳俞晓峰吴智威杭州谱育科技发展有限公司

随着电子工业对特气纯度要求的日益提高，为能达到更低的检测下限，在国家标准方法的基础上优化气体吸收装置，并使用电感耦合等离子体三重四极杆质谱（ICP-MS/MS）法同时测定特气中44种元素含量。高纯氩气中的超痕量杂质元素可经优化... 详细信息

随着电子工业对特气纯度要求的日益提高，为能达到更低的检测下限，在国家标准方法的基础上优化气体吸收装置，并使用电感耦合等离子体三重四极杆质谱（ICP-MS/MS）法同时测定特气中44种元素含量。高纯氩气中的超痕量杂质元素可经优化后的气体吸收装置被完全吸收至5%硝酸吸收液中，吸收液可直接经ICP-MS/MS测定，并通过Std、He、NH3、Cool、Cool NH3等多种分析模式，有效消除了目标元素所遭受的多类型质谱干扰（多原子离子、双电荷、同量异位素等）。在优化的实验条件下，采样体积为89.4 L时，高纯氩气中44种超痕量杂质元素可获得的检出限为0.000 02～0.002 6 ng/L,较国家标准（GB/T 34972—2017）所规定的检出限范围低1～4个数量级，且所有目标元素均可获得优于0.999的标准曲线相关系数，加标回收率为90.1%（Zn）～118%（Na）,相对标准偏差在0.68%（Cs）～14%（Zn）。优化后的气体吸收装置具有便携高效、功能多样、隔绝污染等特点，与ICP-MS/MS相结合实现了高纯氩气中超痕量杂质元素的稳定可靠测试，可为半导体、高纯材料等对气体纯度有极高要求的工业产品原料质控提供技术支持。

关键词：电子特气超痕量元素 ICP-MS/MS 气体吸收干扰消除

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电子特气甲硅烷的国产化实践及行业展望

化工进展 2021年第9期40卷 5231-5235页

作者：李学刚肖文德上海交通大学化学化工学院上海200240

高纯甲硅烷是半导体工业中最重要“源”性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等国垄断。本文回顾了甲硅烷技术的国产化之路,指出氯硅法路线和反应精馏技术,创新高纯甲硅烷大规模生产新... 详细信息

高纯甲硅烷是半导体工业中最重要“源”性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等国垄断。本文回顾了甲硅烷技术的国产化之路,指出氯硅法路线和反应精馏技术,创新高纯甲硅烷大规模生产新工艺,产品打破国外技术垄断并先后导入光伏、显示面板、集成电路等领域。本文还对甲硅烷电子特气行业进行展望,指出本文作者课题组为代表开发的氯硅法路线是未来的主流工艺,而镁硅法联产甲硅烷和乙硅烷也可能是一条较好路线,并认为通过技术整合和工艺创新开发多产品和多联产产品,发展平台型企业,是未来行业发展的方向。

关键词：硅烷电子特气氯硅烷电子材料电子化学品

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电子特气的合成与纯化技术研究进展

低温与特气 2023年第1期41卷 1-5,46页

作者：何红振刘圆梦张金彪宋新巍许福胜昊华气体有限公司河南洛阳471000

电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料,被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高,一般在5N级,部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此,电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术,还包括纯化技术。对电子特... 详细信息

电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料,被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高,一般在5N级,部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此,电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术,还包括纯化技术。对电子特气的合成与纯化技术进行了归类总结,合成技术包括电解法、化学法和电解-化学法,纯化技术包括吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等,具有一定的参考价值和指导意义。

关键词：电子特气合成纯化

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电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究

低温与特气 2023年第6期41卷 12-16页

作者：魏王慧董翊常燕于瑞祥姜阳任逸尘高艳秋上海市计量测试技术研究院上海201203

配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积... 详细信息

配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH+4的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积和吸收瓶规格4个参数对捕集效率的影响,选出最优参数。通过气体稀释仪,绘制了不同浓度下氢中NH+4的气体响应校准曲线,线性良好。确定了气体吸收的检出限,远高于市场检测需求。所进行的吸收参数等的考察为我国集成电路基础材料检测的发展提供了有利的技术支撑。

关键词：电子特气水溶性杂质离子色谱气体吸收捕集参数

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电子特气用包装容器制造工艺介绍

低温与特气 2023年第5期41卷 39-41,47页

作者：施天翔薛剑朱梦玉陆益锋钟远浙江陶特容器科技股份有限公司浙江海宁314400 浙江省特种设备科学研究院浙江杭州310000 江西省检验检测认证总院江西南昌330000

随着对电子特气需求逐年增大,电子特气用包装容器也越来越受人们重视,但是目前电子特气用包装容器还是以进口为主,且行业内还未出台专门针对电子特气用包装容器的相关法规标准。从制造标准、材料、焊接、容器内部处理、产品检验、产品验... 详细信息

随着对电子特气需求逐年增大,电子特气用包装容器也越来越受人们重视,但是目前电子特气用包装容器还是以进口为主,且行业内还未出台专门针对电子特气用包装容器的相关法规标准。从制造标准、材料、焊接、容器内部处理、产品检验、产品验证6个方面介绍了电子特气用包装容器较常规气瓶的特殊点,为同行业提供参考。

关键词：电子特气包装容器制造工艺

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电子特气充装管理与应急处置

有色冶金节能 2022年第4期38卷 88-91页

作者：马福圈王磊刘见华常欣万烨洛阳中硅高科技有限公司河南洛阳471023 硅基材料制备技术国家工程研究中心河南洛阳471023 中国恩菲工程技术有限公司北京100038

电子特气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危险特性,充装过程中的安全事故屡见不鲜,危及人员安全。本文简要介绍特气充装的一般流程,分析充装前检查、充装过程和充装后气瓶管理的注意事项以及充装过程的应急措施,旨在提高... 详细信息

电子特气具有高压、腐蚀性、毒性、易燃易爆、使人窒息等危险特性,充装过程中的安全事故屡见不鲜,危及人员安全。本文简要介绍特气充装的一般流程,分析充装前检查、充装过程和充装后气瓶管理的注意事项以及充装过程的应急措施,旨在提高特气生产企业充装能力和安全管理水平。

关键词：电子特气气瓶充装管理应急处置

凯美特气:电子特气发展强劲进入新一轮成长期

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股市动态分析 2022年第21期 35-36页

作者：贺天瑞不详

市场近期仍以3000点为轴心进行反复震荡修复,由于目前影响市场的诸多因素皆不甚明朗,预计市场需要用时间换空间,以较长时间的盘整来消化和吸收各方面的信息。在这样的市况下,抓住公司个股的业绩确定性尤为重要。凯美特气(002549)处于工... 详细信息

市场近期仍以3000点为轴心进行反复震荡修复,由于目前影响市场的诸多因素皆不甚明朗,预计市场需要用时间换空间,以较长时间的盘整来消化和吸收各方面的信息。在这样的市况下,抓住公司个股的业绩确定性尤为重要。凯美特气(002549)处于工业气体产业链中游制取环节,作为二氧化碳龙头,公司发力特气品类不断拓张,多重保障将驱动公司完成新一轮成长期。二级市场上,凯美特气仍处于大的上升通道,可积极关注。

关键词：成长期工业气体电子特气二氧化碳二级市场产业链消化和吸收