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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电气工程

主题

  • 2 篇 电子束直写技术
  • 1 篇 光栅测量
  • 1 篇 声表面波材料
  • 1 篇 zno薄膜
  • 1 篇 叉指换能器材科
  • 1 篇 精密工件台
  • 1 篇 多层复合膜
  • 1 篇 压电直线电机

机构

  • 1 篇 中国科学院电工研...
  • 1 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 清华大学

作者

  • 1 篇 潘峰
  • 1 篇 韩立
  • 1 篇 刘积学
  • 1 篇 刘俊标
  • 1 篇 方光荣
  • 1 篇 刘明
  • 1 篇 曾飞
  • 1 篇 殷伯华
  • 1 篇 文良栋

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=电子束直写技术"
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压电直线电机驱动的精密工件台研制及应用
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振动．测试与诊断 2013年 第S2期33卷 52-54,218页
作者： 刘俊标 殷伯华 文良栋 方光荣 韩立 中国科学院电工研究所 北京100190 中国科学院大学 北京100049
为了满足在毫米量级范围内以低成本的电子束直写技术制作纳米器件和微纳米结构的需求,提出了一种基于压电陶瓷直线电机驱动的高精度二维精密工件台设计结构。该精密工件台采用精密交叉滚柱导轨,共有3层结构,采用20nm测量分辨率的光栅尺... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
中高频声表面波关键材料与应用研究
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功能材料信息 2007年 第5期4卷 57-页
作者： 潘峰 刘明 曾飞 刘积学 清华大学材料系 北京100084
随着第三代通讯技术的发展,声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高,从最初的数MHz发展到现在的数GHz,如应用于1.9GHz的个人通讯服务系统,2.4GHz的无线局域网络系统及高于5GHz无线多端发送系统。这些高频应用系统的不断发展显著增大了高... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
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