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文献类型

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 变形测量
  • 1 篇 电子束云纹光栅
  • 1 篇 电子束刻蚀法

机构

  • 1 篇 清华大学

作者

  • 1 篇 岸本哲
  • 1 篇 谢惠民
  • 1 篇 张维
  • 1 篇 戴福隆

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=电子束刻蚀法"
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电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术
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光学技术 2000年 第6期26卷 526-528页
作者： 谢惠民 戴福隆 岸本哲 张维 清华大学工程力学系 北京100084 清华大学结构与振动开放实验室客座研究人员
本文应用电子束刻蚀技术并结合真空镀膜技术提出了制作电子束云纹光栅的新方法。首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺。所制得的光栅可在两频率下应用电子束云纹法测量物体的变形。同一般光栅相比 ,这种双频光栅变形量程范围... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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