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中国激光 2017年第12期44卷 161-167页

作者：顾礼李翔周军兰杨勤劳郭宝平深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部/广东省重点实验室广东深圳518060 深圳大学信息工程学院广东深圳518060 深圳大学高等研究院广东深圳518060

栅网是条纹相机等电子光学仪器的重要组成部件。通过使用有限差分法对栅网的丝径、网孔进行精细建模,分析了栅网对均匀电场的扰动以及对电子运动的子透镜效应;使用电子碰撞自由程Gryzinski理论研究了电子和栅网碰撞的二次电子发射问题... 详细信息

栅网是条纹相机等电子光学仪器的重要组成部件。通过使用有限差分法对栅网的丝径、网孔进行精细建模,分析了栅网对均匀电场的扰动以及对电子运动的子透镜效应;使用电子碰撞自由程Gryzinski理论研究了电子和栅网碰撞的二次电子发射问题。结果发现,对于条纹相机中常用的10,33,50line/mm栅网,其结构参数的不连续性对均匀电场的扰动分别为0.31%、0.07%、0.04%;对于入射能量为15keV的电子,栅网金属原子Ni、Cr和Cu的非弹性散射碰撞自由程分别为6.85,10.34,7.25nm,碰撞很难产生二次电子发射。研究结果对电子光学仪器的设计和栅网参数的优化具有参考意义。

关键词：成像系统 X射线探测器条纹相机栅网二次电子电场扰动子透镜效应

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