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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 载流子浓度
  • 1 篇 电化学-cv法
  • 1 篇 误差分析
  • 1 篇 修正算法

机构

  • 1 篇 中国电子科技集团...
  • 1 篇 河北工业大学

作者

  • 1 篇 武一宾
  • 1 篇 牛晨亮
  • 1 篇 李若凡
  • 1 篇 商耀辉
  • 1 篇 马永强
  • 1 篇 杨瑞霞

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=电化学-CV法"
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排序:
电化学C-V对载流子浓度纵向分布的精确测量
收藏 引用
半导体技术 2007年 第9期32卷 809-811页
作者: 李若凡 武一宾 杨瑞霞 马永强 商耀辉 牛晨亮 河北工业大学 天津300130 中国电子科技集团公司第十三研究所 石家庄050051
电化学C-V是当前测量化合物半导体载流子浓度纵向分布的非常重要的方。用电化学C-V测试仪对外高内低、有较大浓度梯度的外延样品进行载流子浓度纵向分布测量时发现,内层低载流子浓度区域测试结果误差较大,主要是由测试系统引起的,... 详细信息
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