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  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 束斑尺寸
  • 1 篇 球差
  • 1 篇 扫描电子显微镜
  • 1 篇 衍射
  • 1 篇 色差
  • 1 篇 物镜计算

机构

  • 1 篇 中国科学院北京科...
  • 1 篇 中国科学院研究生...
  • 1 篇 德国tuebingen大学...

作者

  • 1 篇 michael rauscher
  • 1 篇 孙占峰
  • 1 篇 张永明
  • 1 篇 erich plies

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=物镜计算"
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非对称磁透镜物镜的数字计算
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电子显微学报 2003年 第4期22卷 358-361页
作者： 孙占峰 Michael Rauscher Erich Plies 张永明 中国科学院北京科学仪器研制中心 中国科学院研究生院 北京100039 德国Tuebingen大学应用物理研究所
采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜 (SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计。本文通过采用已发表的通用数据和用软件计算实际透镜得到的数据来计算电子束斑直径 ,研究非对称透镜物镜的光学特性。
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