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学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 纳米结构
  • 1 篇 自组装
  • 1 篇 物理屏蔽效应
  • 1 篇 加工
  • 1 篇 原子力显微镜
  • 1 篇 硅
  • 1 篇 金纳米粒子
  • 1 篇 局域氧化
  • 1 篇 掩模

机构

  • 1 篇 北京大学

作者

  • 1 篇 陈柱成
  • 1 篇 郑激文
  • 1 篇 刘忠范

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=物理屏蔽效应"
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基于金纳米粒子掩模的硅表面纳米结构加工
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物理化学学报 2001年 第10期17卷 868-872页
作者： 陈柱成 郑激文 刘忠范 北京大学纳米科学技术中心 化学与分子工程学院 北京100871
利用金溶胶纳米粒子为掩模，结合轻敲模式原子力显微镜（ＴＭ－ＡＦＭ）的局域氧化技术和化学湿法腐蚀，对Ｓｉ表面进行纳米尺度的结构加工，得到柱状和环状纳米结构．实验结果表明，氧化过程中ＡＦＭ针尖与样品平均间距的大小显著影响... 详细信息
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