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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 1 篇 片上微型电子源
  • 1 篇 阳极键合
  • 1 篇 片上微型真空腔室
  • 1 篇 微纳真空电子器件

机构

  • 1 篇 北京大学

作者

  • 1 篇 刘文超
  • 1 篇 赵振征
  • 1 篇 魏贤龙
  • 1 篇 郭等柱
  • 1 篇 陈清
  • 1 篇 陶俊明

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=片上微型真空腔室"
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片上电子源的真空阳极键合
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真空电子技术 2020年 第4期33卷 28-33页
作者： 陶俊明 刘文超 郭等柱 赵振征 陈清 魏贤龙 北京大学电子学系纳米器件物理与化学教育部重点实验室 北京100871 北京大学软件与微电子学院 北京102600 北京大学(天津滨海)新一代信息技术研究院 天津300451
本文介绍了一种新型片上微型电子源的真空阳极键合方法,以构建一个和片上微型电子源集成在一起的片上微型真空腔室。采用导线搭接的方法完成了硅玻璃交替的多层键合结构,实现了包含五层键合结构的片上微型真空三极管。使用氦质谱检漏仪... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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