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  • 4 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 4 篇 工学
    • 4 篇 机械工程

主题

  • 4 篇 热温差原理
  • 2 篇 风向传感器
  • 2 篇 二维风速传感器
  • 2 篇 气体流量传感器
  • 2 篇 剥离工艺
  • 1 篇 灵敏度
  • 1 篇 衬底挖空结构
  • 1 篇 mems
  • 1 篇 vo2
  • 1 篇 悬空结构
  • 1 篇 热敏电阻器
  • 1 篇 微机电系统

机构

  • 2 篇 东南大学
  • 2 篇 安徽师范大学
  • 1 篇 北方光电集团焦作...

作者

  • 2 篇 秦明
  • 2 篇 李辉
  • 2 篇 张骅
  • 2 篇 吴剑
  • 2 篇 沈广平
  • 2 篇 黄庆安
  • 1 篇 朱向冰
  • 1 篇 王建亮
  • 1 篇 张持健

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=热温差原理"
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一种热温差式悬空结构气体流量传感器设计
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传感器与微系统 2013年 第2期32卷 84-86页
作者： 李辉 朱向冰 王建亮 安徽师范大学物理与电子信息学院 安徽芜湖241000 北方光电集团焦作研究所 河南焦作454150
基于热温差原理,利用MEMS技术加工制备出高灵敏度微型气体流量传感器。该流量传感器采用热敏电阻器悬空结构,其热隔离性能较好,并利用温度系数大的VO2制备热敏电阻器;同时,利用机械性能和密封性能好的SU—8胶制备气流沟道,工艺简单,稳... 详细信息
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一种高性能MEMS气体流量传感器设计
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传感器与微系统 2014年 第2期33卷 77-79页
作者： 李辉 张持健 安徽师范大学物理与电子信息学院 安徽芜湖241000
使用MEMS技术研制出一种高灵敏度热温差式流量传感器.器件采用热隔离性能良好的衬底挖空结构,且热敏电阻器与热源距离可调,保证了系统的灵敏度和响应速度.同时热敏电阻器、加热电阻器与电桥电阻器集成在传感器片内,提高了系统的稳定性.... 详细信息
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二维MEMS风速风向传感器的设计与测试
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微纳电子技术 2007年 第7期44卷 285-287页
作者： 沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安 东南大学MEMS教育部重点实验室 南京210096
给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工作方... 详细信息
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二维MEMS风速风向传感器的设计与测试
二维MEMS风速风向传感器的设计与测试
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第十届全国敏感元件与传感器学术会议
作者： 沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安 东南大学MEMS教育部重点实验室 东南大学MEMS教育部重点实验室 东南大学MEMS教育部重点实验室 东南大学MEMS教育部重点实验室 东南大学MEMS教育部重点实验室
给出一种基于 MEMS 工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步 MEMS 剥离工艺加工,加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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