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热丝cvd法高速生长金刚石膜研究

硅酸盐学报 1996年第4期24卷 476-480页

作者：赵立华杨巧勤李绍禄苏玉长陈本敬杜海清湖南大学材料测试研究中心

使用热丝ＣＶＤ法研究了碳源种类、氧气含量、灯丝温度、基底与灯丝间距离及异常辉光放电等对金刚石膜生长速度的影响，在此研究的基础上，优化工艺参数，使热丝ＣＶＤ法生长金刚石膜的速度提高到２０μｍ／ｈ。

关键词：化学气相沉积生长速度金刚石膜热丝cvd法

热丝cvd法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进

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磨料磨具通讯 2006年第2期 10-14,9页

作者：孙心瑷周灵平

热丝化学气相（cvd）法沉积全刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视，然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来的“污染”影响了金刚石沉积膜的质量，本文就热丝法中三种常用灯丝（钨丝、钼丝和铼丝）的高温行为... 详细信息

热丝化学气相（cvd）法沉积全刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视，然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来的“污染”影响了金刚石沉积膜的质量，本文就热丝法中三种常用灯丝（钨丝、钼丝和铼丝）的高温行为的研究现状进行了综合评述。在此基础上，提出了钽丝表面包钨的新实验，以进一步指导热丝cvd法沉积高质量的金刚石。

关键词：热丝cvd法金刚石薄膜沉积方法灯丝现状高温行为化学气相沉积过程综合评述沉积膜

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热丝cvd法金刚石膜生长速度研究

炭素 1995年第2期 13-17页

作者：杨巧勤赵立华李绍禄苏玉长陈本敬王秀琼杜海清湖南大学材料测试研究中心

本文使用热丝ＣＶＤ法着重研究了基底表面的处理、工作气压、碳化物的含量、基底温度、灯丝温度以及基底与灯丝间距离等对金刚石膜生长速度所产生的影响，并在以上研究的基础上采取措施，优化工艺参数。

关键词：金刚石膜热丝cvd法晶体生长生长速度

采用热丝cvd法在多种基材上沉积金刚石薄膜

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表面技术 1998年第1期27卷 5-7页

作者：苏革黄荣芳闻立时成会明中国科学院金属研究所

热丝法是一种比较成熟的气相合成金刚石膜的方法,与其它方法比较,热丝法在工艺参数对金刚石薄膜的结构和质量的影响、界面的形成、薄膜生长各阶段的特征等方面的基础研究及各种应用研究上有其独特的优越性.木文采用热丝法在SiC晶须增强S... 详细信息

热丝法是一种比较成熟的气相合成金刚石膜的方法,与其它方法比较,热丝法在工艺参数对金刚石薄膜的结构和质量的影响、界面的形成、薄膜生长各阶段的特征等方面的基础研究及各种应用研究上有其独特的优越性.木文采用热丝法在SiC晶须增强Si_3N_4.陶瓷、AIN陶瓷、Si单晶片、Cu片、Mo片等基材上沉积出金刚石薄膜,并通过TEM和SEM进行观察,分析和研究了影响金刚石薄膜沉积的因素.

关键词：热丝cvd法沉积金刚石薄膜镀膜

基于电沉积过渡层沉积cvd金刚石薄膜的研究

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人工晶体学报 2004年第1期33卷 13-17页

作者：卢文壮左敦稳王珉黎向锋徐锋南京航空航天大学机电学院南京210016

在硬质合金的Cu、Ni、Cr电沉积过渡层上采用热丝cvd法沉积出金刚石薄膜。利用SEM和Raman对金刚石薄膜进行了研究,对影响膜基结合强度的因素进行了分析,利用压痕法对金刚石薄膜与基体的结合强度进行了检验。结果表明,在Cr过渡层上沉积的... 详细信息

在硬质合金的Cu、Ni、Cr电沉积过渡层上采用热丝cvd法沉积出金刚石薄膜。利用SEM和Raman对金刚石薄膜进行了研究,对影响膜基结合强度的因素进行了分析,利用压痕法对金刚石薄膜与基体的结合强度进行了检验。结果表明,在Cr过渡层上沉积的金刚石薄膜的质量和膜基结合性能较好,优于在Cu、Ni过渡层上沉积的金刚石薄膜的质量和膜基结合性能。

关键词： cvd金刚石膜电沉积过渡层硬质合金结合强度热丝cvd法

cvd金刚石薄膜涂层整体式刀具的制备与应用

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金刚石与磨料磨具工程 2011年第1期31卷 1-5页

作者：沈彬孙方宏张志明沈荷生郭松寿上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 上海交友钻石涂层有限公司上海200240

化学气相沉积(chemical vapor deposition,cvd)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament c... 详细信息

化学气相沉积(chemical vapor deposition,cvd)金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数低、耐磨性强以及表面化学性能稳定等优异的机械及摩擦学性能,这使其在硬质合金工模具领域具有广阔的应用前景。本文采用热丝化学气相沉积法(hot filament chemical vapor deposition,HFcvd),在具有复杂形状的硬质合金整体式铣刀表面沉积了一层均匀、光滑的金刚石薄膜,并采用石墨以及碳化硅铝基增强复合材料作为工件材料对比考察了金刚石薄膜涂层铣刀和未涂层硬质合金铣刀的切削性能。铣削实验结果显示,在硬质合金整体式铣刀表面沉积一层cvd金刚石薄膜能够大幅提高铣刀的耐磨性,从而提高硬质铣刀的寿命。

关键词： cvd金刚石薄膜热丝cvd法金刚石薄膜涂层刀具石墨碳化硅铝基增强复合材料

cvd金刚石涂层煤液化减压阀关键部件的制备

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金刚石与磨料磨具工程 2011年第6期31卷 20-24页

作者：王新昶孙方宏沈彬彭东辉张志明上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 上海化工研究院上海200062 上海交友钻石涂层有限公司上海200240

煤液化减压阀的工作条件非常苛刻,对其阀座、阀芯等关键部件在高温、高压差、高固态浓度流体冲蚀条件下的抗冲蚀磨损性能及使用稳定性提出了极高的要求。cvd金刚石涂层具有接近天然金刚石的优异性能,非常适合用于煤液化减压阀关键部件... 详细信息

煤液化减压阀的工作条件非常苛刻,对其阀座、阀芯等关键部件在高温、高压差、高固态浓度流体冲蚀条件下的抗冲蚀磨损性能及使用稳定性提出了极高的要求。cvd金刚石涂层具有接近天然金刚石的优异性能,非常适合用于煤液化减压阀关键部件的表面强化。采用热丝cvd法在硬质合金阀座及阀芯主要的受冲蚀表面沉积获得了金刚石涂层,为保证沉积过程中温度分布及制备获得的金刚石涂层厚度分布的均匀性,针对阀座和阀芯的不同结构,分别采用了直拉热丝穿孔和平行阶梯式排列两种不同的热丝排布方式。采用扫描电子显微镜(SEM)和Raman谱仪对沉积获得的金刚石涂层进行了性能表征,结果表明,在阀芯和阀座表面均沉积获得了一层连续、厚度均匀、颗粒度约为3～5μm、具有典型的金刚石特征的高质量金刚石涂层。将cvd金刚石涂层煤液化减压阀关键部件应用在实际煤液化工况条件下试运行,其使用寿命超过了1 200 h,比普通同类部件的使用寿命提高了3倍以上。

关键词：热丝cvd法金刚石涂层煤液化减压阀抗冲蚀磨损性能使用寿命

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沉积气压对cvd金刚石涂层质量的影响

金刚石与磨料磨具工程 2013年第5期33卷 1-4页

作者：邓福铭邹波刘畅杨俊杰中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所北京100083

沉积气压对cvd金刚石涂层沉积的质量有着重要的影响。实验采用单一变量法,在其他工艺参数一定的条件下,考察了不同沉积气压下涂层的质量。利用扫描电镜、Raman光谱仪、洛氏硬度计分别对样品的表面形貌、成分、涂层结合力进行测定。结果... 详细信息

沉积气压对cvd金刚石涂层沉积的质量有着重要的影响。实验采用单一变量法,在其他工艺参数一定的条件下,考察了不同沉积气压下涂层的质量。利用扫描电镜、Raman光谱仪、洛氏硬度计分别对样品的表面形貌、成分、涂层结合力进行测定。结果表明:沉积气压过低或过高都不利于涂层的生长。对于两步法,当控制碳源体积浓度为2%、沉积功率4 kW、热丝与基体的距离为5 mm时,最佳的反应气压为3 kPa,沉积后的涂层质量能达到最佳。

关键词：沉积气压热丝cvd法基体预处理涂层质量

用原位光发射谱研究电子增强热丝cvd金刚石膜生长过程

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中国科学（A辑） 1996年第11期26卷 1038-1043页

作者：崔景彪马玉蓉方容川中国科学技术大学物理系结构分析开放实验室合肥230026

利用光发射谱对电子增强热丝cvd金刚石薄膜的生长过程进行了原位检测,并实现空间分辨测量,系统地研究了衬底偏压、甲烷浓度、衬底温度等反应条件对原位光发射谱的影响,给出了有关反应基团空间分布及电子能量状态等对金刚石生长极其重要... 详细信息

利用光发射谱对电子增强热丝cvd金刚石薄膜的生长过程进行了原位检测,并实现空间分辨测量,系统地研究了衬底偏压、甲烷浓度、衬底温度等反应条件对原位光发射谱的影响,给出了有关反应基团空间分布及电子能量状态等对金刚石生长极其重要的信息,并同薄膜的生长进行了比较.结果表明甲烷浓度和衬底温度对金刚石膜生长的影响分别来自不同反应机制,提高原子氢的浓度,同时降低CH基团的浓度是生长优质金刚石膜所需的条件.

关键词：金刚石薄膜生长过程光发射谱热丝cvd法