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  • 1 篇 激光辅助超精密切...
  • 1 篇 单晶硅
  • 1 篇 表面粗糙度
  • 1 篇 面形精度
  • 1 篇 残余应力

机构

  • 1 篇 华中科技大学
  • 1 篇 国家数字化设计与...
  • 1 篇 湖北工业大学

作者

  • 1 篇 许剑锋
  • 1 篇 陈肖
  • 1 篇 张建国
  • 1 篇 佘中迪
  • 1 篇 柯金洋

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=激光辅助超精密切削"
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单晶硅激光辅助超精密切削工艺优化与表面特性
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光学精密工程 2023年 第1期31卷 99-108页
作者： 陈肖 柯金洋 佘中迪 张建国 许剑锋 湖北工业大学机械工程学院 湖北武汉430068 华中科技大学机械科学与工程学院 湖北武汉430074 国家数字化设计与制造创新中心 湖北武汉430206
为了获得优化的单晶硅激光辅助超精密切削工艺,探究切削加工后单晶硅元件的表面特性,采用正交实验方法对单晶硅的激光原位辅助单点金刚石切削工艺参数进行优化,并对切削加工单晶硅表面质量、面形精度、残余应力和光学透过率等表面特性... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 博看期刊 评论
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