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基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究

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中央民族大学学报（自然科学版） 2007年第4期16卷 318-324页

作者：王志娟郑玉彤汤建华中央民族大学信息工程学院北京100081 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033

激光对片式电阻的刻蚀路径直接影响片式电阻的阻值精度,掌握激光刻蚀路径对片阻阻值的影响可为精调片阻阻值提供理论依据.掌握激光刻蚀路径与片阻阻值关系的前提是确定准确、有效的研究方法,首先,应确定片阻阻值与激光刻蚀路径关系的物... 详细信息

激光对片式电阻的刻蚀路径直接影响片式电阻的阻值精度,掌握激光刻蚀路径对片阻阻值的影响可为精调片阻阻值提供理论依据.掌握激光刻蚀路径与片阻阻值关系的前提是确定准确、有效的研究方法,首先,应确定片阻阻值与激光刻蚀路径关系的物理模型,然后应用有限元法计算该物理模型的数值解,分析、处理这些数据可得到不同型号片阻阻值与不同刻蚀路径之间的定量关系;经实验验证表明,利用有限元法得到的片阻阻值与刻蚀路径的关系函数的计算偏差不大于2%,可以应用有限元法研究激光刻蚀路径对片阻阻值的影响,进而为精调片阻阻值提供了控制依据.

关键词：激光调阻调阻精度激光刻蚀路径有限元

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厚膜电阻激光周值研究

延河集成电路 1992年第1期9卷 34-39页

作者：李新玉

基于电阻细分的激光纵向切割长度对片式电阻阻值影响的实验研究

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电子器件 2004年第3期27卷 448-452页

作者：王志娟汤建华于前洋中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130033

激光在片式电阻上的纵向切割对阻值变化影响较小 ,合理设计其长度可以提高激光调阻精度及保证阻值稳定性。通过电阻细分和实验数据分析得到激光纵向切割长度对阻值影响的定量公式。经实验验证 :该公式的估算偏差不大于 1 % ,能够准确预... 详细信息

激光在片式电阻上的纵向切割对阻值变化影响较小 ,合理设计其长度可以提高激光调阻精度及保证阻值稳定性。通过电阻细分和实验数据分析得到激光纵向切割长度对阻值影响的定量公式。经实验验证 :该公式的估算偏差不大于 1 % ,能够准确预测经激光纵向切割的电阻阻值的变化趋势和速度。

关键词：激光调阻纵向切割电阻细分估算偏差

基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究

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电子器件 2008年第3期31卷 791-794,799页

作者：王志娟郑玉彤闫晓东汤建华中央民族大学信息工程学院北京100081 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033

应用激光对片阻阻值进行修调时,垂直于电流方向的横向刻蚀对片阻的阻值影响较大,合理设计横向刻蚀的起刻位置和刻蚀长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率。应用有限元法可得激光横向刻蚀长度和横向起刻位置对片阻阻值影响的定... 详细信息

应用激光对片阻阻值进行修调时,垂直于电流方向的横向刻蚀对片阻的阻值影响较大,合理设计横向刻蚀的起刻位置和刻蚀长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率。应用有限元法可得激光横向刻蚀长度和横向起刻位置对片阻阻值影响的定性、定量结论。经实验验证:应用有限元法得到的横向刻蚀路径对阻值影响的定性结论与实验结论一致、定量结论的计算偏差不大于2%,能够为提高调阻精度和调阻效率提供控制依据。

关键词：激光调阻调阻精度横向刻蚀长度横向起刻位置有限元法

Al_2O_3陶瓷基体温度传感器的激光精密加工技术研究

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科技信息 2007年第2期 48-48,95页

作者：胡竹平施云波殷景华郭建英哈尔滨理工大学应用科学学院黑龙江哈尔滨150080

为了掌握采用激光精密加工技术加工Al2O3陶瓷基体温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调QNd:YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研究激光划片工艺参数与Al2O3陶瓷基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调... 详细信息

为了掌握采用激光精密加工技术加工Al2O3陶瓷基体温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调QNd:YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研究激光划片工艺参数与Al2O3陶瓷基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精度的关系。

关键词：激光精密加工激光划片激光调阻 Al2O3陶瓷基体

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厚、薄膜电阻激光快速微调技术

光机电信息 2000年第7期17卷 23-26页

作者：张景旭田兴志中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130022

详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.

关键词：集成电路激光微调激光调阻薄膜电阻厚膜电阻

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金橙子：深耕激光加工控制领域

金橙子：深耕激光加工控制领域

上海证券报

作者：王子霖

2004年，几名“理工男”绞尽脑汁，决定以“金橙子”作为公司名称开启创业之旅。作为联合创始人之一、公司总经理吕文杰表示，“橙子”有向苹果公司致敬的含义，希望自己的公司能够成为细分领域的苹果，成为一家具备强大创新力，并能够... 详细信息

2004年，几名“理工男”绞尽脑汁，决定以“金橙子”作为公司名称开启创业之旅。作为联合创始人之一、公司总经理吕文杰表示，“橙子”有向苹果公司致敬的含义，希望自己的公司能够成为细分领域的苹果，成为一家具备强大创新力，并能够对行业产生深远影响的公司。如今，深耕......

关键词：激光加工加工控制系统激光调阻激光控制系统

来源： cnki报纸评论

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厚膜半导体工艺在气敏元件生产中的应用

仪表技术与传感器 2009年第B11期 208-209,211页

作者：张小水祁明锋钟克创王利利范子亮谷永谦郑州炜盛电子科技有限公司河南郑州450001

文中讲述了将厚膜半导体工艺应用于气敏元件的生产制作,综合运用精密丝网印刷、激光分割、激光调阻、平面绑定等先进技术,达到了高质量、高效率生产气敏元件的效果。应用半导体工艺制作的气敏元件相比传统工艺制作的产品具有体积小、功... 详细信息

文中讲述了将厚膜半导体工艺应用于气敏元件的生产制作,综合运用精密丝网印刷、激光分割、激光调阻、平面绑定等先进技术,达到了高质量、高效率生产气敏元件的效果。应用半导体工艺制作的气敏元件相比传统工艺制作的产品具有体积小、功耗低、机械性能好、批次一致性好等优点。

关键词：厚膜半导体工艺气敏元件生产精密丝网印刷激光分割激光调阻平面绑定

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基于AD5933的矩阵式网络频谱分析系统

基于AD5933的矩阵式网络频谱分析系统

作者：殷维华中科技大学

学位级别：硕士

PIG是一种三引脚加速度传感陶瓷芯片，不同引脚间的阻抗随输入的频率不同呈现一个规律的连续性变化，其最低阻抗所对应的频率对传感器性能影响尤为重要。本文设计了基于AD5933的矩阵式频谱分析系统，应用于PIG激光调整工艺中，对PIG最... 详细信息

PIG是一种三引脚加速度传感陶瓷芯片，不同引脚间的阻抗随输入的频率不同呈现一个规律的连续性变化，其最低阻抗所对应的频率对传感器性能影响尤为重要。本文设计了基于AD5933的矩阵式频谱分析系统，应用于PIG激光调整工艺中，对PIG最低阻抗所对应的频率进行快速的测量。 PIG有三个探针测试点A、B和C，需分别找到AC、BC、ABC和AB之间的最小阻抗值时的输入频率，通过单片机以及运用一些芯片实现A、B、C之间的切换，于是称其为矩阵式。又因为激光调阻的速度很快，单个频谱分析器的检测速度要2s，于是用10台频谱分析器组成一个网络结构，于是加快了速度，能够与激光调阻匹配，即是频谱分析系统的网络性。本文应用阻抗测量芯片AD5933，AD5933是一款高精度阻抗转化器，片上集成频率发生器与12位、1MSPSADC。AD5933允许用户利用自定义的起始频率、频率分辨率和扫描点数进行频率扫描。用频率发生器产生的正弦波信号来激励外部复阻抗，外部复阻抗的响应信号变成电压信号由片上的ADC进行采样，然后由DSP进行傅里叶变换，变换后可得到该扫描点返回的实部数据和虚部数据，通过公式计算后得到阻抗幅度和相位。通过单片机控制选择引脚，然后应用AD5933输出28K到33K的频率，对采样电阻进行采样，能快速得到最大阻抗时的频率。采样速度快，得到两个引脚间的频率只需44ms，且采样精度到20Hz，内部程序编写后用户操作简单，电路设计严谨、简单，通过数据得到其性能稳定可靠。

关键词： AD5933 频谱分析激光调阻矩阵式网络