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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 1 篇 纳米硅
  • 1 篇 移相光栅
  • 1 篇 定域晶化
  • 1 篇 激光干涉结晶

机构

  • 1 篇 东京工业大学
  • 1 篇 南京大学

作者

  • 1 篇 黄信凡
  • 1 篇 陈坤基
  • 1 篇 小田俊理
  • 1 篇 姚尧
  • 1 篇 周江
  • 1 篇 宫本恭幸
  • 1 篇 徐骏
  • 1 篇 马忠元
  • 1 篇 方忠慧
  • 1 篇 李伟

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=激光干涉结晶"
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排序:
激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列
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物理学报 2008年 第8期57卷 4960-4965页
作者: 姚尧 方忠慧 周江 李伟 马忠元 徐骏 黄信凡 陈坤基 宫本恭幸 小田俊理 南京大学物理系 固体微结构物理国家重点实验室南京210093 东京工业大学物理电子学系
利用激光干涉结晶方法,采用周期为400nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅(nc-Si)阵列.拉曼散射谱表明,样品上呈条状分布的受辐照区域... 详细信息
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