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激光干涉仪
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中国检验检测 1987年 第2期 61-62页
作者： 高木信雄 蒋庆全
本文介绍英国仪器公司生产的一种激光干涉仪的原理及其应用。一、工作原理激光干涉仪的工作原理不同于光外差式系统,它使用了双模单稳频激光器。从激光器辐
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激光干涉仪
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现代计量测试 1995年 第2期3卷 41-43,40页
作者： 胡风
激光干涉仪安田贤司１．原理和结构（ｌ）原理干涉仪是用某种方法使光束分为两路，它们行经不同的光路后再重合，观测由各光路长度决定亮暗的光强度（干涉条纹）的装置。光具有波的特性，上述重合将产生相互加强或减弱的现象，称为干涉... 详细信息
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激光干涉仪
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中国科学院院刊 2023年 第S01期38卷 72-72页
主要技术与性能指标,测量口径:Φ600 mm(可定制到Φ800 mm),标准参考镜面形精度(PV):优于0.1λ,重复性RMS:优于0.6 nm,系统传递函数(ITF):>0.7@0.4 cycles/mm,拼接测量口径:1400 mm×420 mm,拼接测量精度(PV):优于0.1λ。主要应用,强激... 详细信息
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激光干涉仪
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光机电信息 1995年 第4期12卷 43-43页
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基于激光干涉仪对天文底片扫描仪两轴气浮运动平台垂直度的测量
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工业控制计算机 2025年 第1期38卷 4-6,9页
作者： 王亮亮 商正君 杨美婷 杨静 董姗 赵建海 于涌 中国科学院上海天文台 上海200030 中国科学院大学 北京100049
上海天文台开展高精度天文底片专用扫描仪的自主研制,垂直度误差是扫描仪所用两轴线性气浮运动平台的关键技术指标之一。基于直线度的干涉测量原理,使用RENISHAW XL80激光干涉仪及光学直角尺搭建垂直度测量光路,对两轴线性气浮式运动平... 详细信息
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激光干涉仪应用于无导轨测距的研究
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光子学报 2001年 第7期30卷 882-884页
作者： 邱宗明 郭彦珍 李信 西安理工大学 西安710048
本文提出了一种使用外差激光干涉仪实现无导轨测距的方法 .该方法动态跟踪测量反射镜 ,使测量信号不中断 ,实现反射镜在一定范围内的非直线运动 .这样 ,拥有双频激光干涉仪的用户 ,再添置一台比较简单的跟踪装置 ,即可用于无导轨测距 ,... 详细信息
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激光干涉仪测微冲量原理
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推进技术 2007年 第5期28卷 530-533页
作者： 王广宇 金星 叶继飞 装备指挥技术学院 北京101416
对激光干涉仪测量微冲量的原理进行了初步研究,将激光与靶材相互作用产生的微冲量转化为冲击摆的微幅振动,通过激光干涉仪辨识此振动以获得冲量。激光干涉仪可分辨出λ/8的微振动,为精确测量微冲量提供了可靠的保证。理论分析表明,研究... 详细信息
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内壁反射式远红外激光干涉仪的设计和应用
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红外与毫米波学报 2005年 第4期24卷 265-268页
作者： 周艳 邓中朝 易江 唐益武 刘泽田 施佩兰 潘丽 罗萃文 陈燎原 王恩耀 核工业西南物理研究院 四川成都610041
介绍用于HL-2A偏滤器托卡马克装置的远红外(FIR)激光干涉仪及其在等离子体电子密度测量中的应用.一种新的软件比较相位技术被用来计算相移.自恰式光路设计方法用于内壁挂镜光路的设计.防污染装置延长了真空室中反射镜的使用寿命.电子密... 详细信息
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利用三光束激光干涉仪评估纳米平台的移动性能(英文)
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光学精密工程 2011年 第9期19卷 2284-2292页
作者： 王世华 陈秀玲 徐淦 国家计量中心新加坡科技研究局 新加坡118221
纳米位移传感器多集成在纳米平台的平行移动柔性机构中,通过闭环控制回路来实现纳米级的平台移动精度,本文介绍了利用具有亚纳米分辨率的三光束单频激光干涉仪校正纳米级电容式线性移动平台位移的工作,阐述了校正测试系统的布局以及线... 详细信息
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一种时域解调激光干涉仪调制信号的方法
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振动工程学报 2006年 第3期19卷 364-369页
作者： 李晓蕾 樊尚春 田原 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 北京100083
针对某低频水平振动校准设备的激光干涉仪,利用N I公司的多功能采集卡,采集激光干涉仪的调制信号及与其同相位的电容式位移传感器的输出信号。根据激光干涉仪调制原理,提出一种时域解调调制信号的方法。根据调制信号条纹的时域特性和它... 详细信息
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