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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 磁控溅射法
  • 1 篇 叠层栅电介质
  • 1 篇 pi
  • 1 篇 氧氩比
  • 1 篇 溅射时长

机构

  • 1 篇 吉林师范大学
  • 1 篇 吉林建筑大学

作者

  • 1 篇 王超
  • 1 篇 胡伟涛
  • 1 篇 杨帆
  • 1 篇 孙名扬
  • 1 篇 王艳杰
  • 1 篇 杨小天

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=溅射时长"
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柔性H_(f)O_(2)/Ta_(2)O_(5)叠层栅介质ZnO薄膜晶体管
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液晶与显示 2022年 第10期37卷 1310-1316页
作者： 胡伟涛 杨帆 杨小天 王超 王艳杰 孙名扬 吉林建筑大学电气与计算机学院 吉林省建筑电气综合节能重点实验室吉林长春130118 吉林建筑大学寒地建筑综合节能教育部重点实验室 吉林长春130118 吉林师范大学 吉林四平136099
为了有效提高柔性薄膜晶体管的电学性能,室温条件下,在聚酰亚胺(PI)衬底上使用H_(f)O_(2)/Ta_(2)O_(5)两种高介电常数材料相结合的叠层结构代替单层Ta_(2)O_(5)作为栅电介质,探究其对器件电学性能的影响。采用磁控溅射法制备薄膜,研究... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 博看期刊 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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