检索结果-南通市图书馆

混合磨料对LED用蓝宝石衬底CMP质量的影响

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

功能材料 2012年第B8期43卷 84-86页

作者：于江勇刘玉岭牛新环李英的夏显召河北工业大学微电子研究所天津300130

分析了混合磨料在蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)过程中的作用机理,并对比了SiO2水溶胶磨料和SiO2与Al2O3混合磨料对蓝宝石衬底去除速率的影响。研究表明,在主磨料SiO2水溶胶中加入浓度为20mL/L同粒径纳米级的Al2O3可以使CMP过程中的化学... 详细信息

分析了混合磨料在蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)过程中的作用机理,并对比了SiO2水溶胶磨料和SiO2与Al2O3混合磨料对蓝宝石衬底去除速率的影响。研究表明,在主磨料SiO2水溶胶中加入浓度为20mL/L同粒径纳米级的Al2O3可以使CMP过程中的化学作用与机械作用达到相互平衡,使抛光去除速率得到明显提高。在距抛光终点5～10min通过调整工艺参数与抛光液配比,使表面粗糙度由2.32nm降至0.236nm。

关键词：蓝宝石衬底化学机械抛光混合磨料去除速率

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

混合磨料辅助电磁抛光法对喷嘴的试验研究

机械设计与制造 2021年第8期366卷 95-98页

作者：于克强李彦俊李阔陈燕辽宁科技大学机械工程与自动化学院辽宁鞍山114051

航空发动机中的微小燃油喷嘴在机加工后棱边产生毛刺和飞边等表面缺陷,尤其是一些窄小的棱边和沟槽,用传统加工方法很难去除或去除效率低下。利用旋转电磁场磁力研磨工艺,辅以磁针与磁性磨粒的混合磨料。均匀且强大的旋转电磁场及磁力... 详细信息

航空发动机中的微小燃油喷嘴在机加工后棱边产生毛刺和飞边等表面缺陷,尤其是一些窄小的棱边和沟槽,用传统加工方法很难去除或去除效率低下。利用旋转电磁场磁力研磨工艺,辅以磁针与磁性磨粒的混合磨料。均匀且强大的旋转电磁场及磁力线可以穿透物体,带动磁针旋转,同时被磁场磁化的磁针两端吸附磁性磨粒,形成以磁针为载体的磁力研磨刷,大量磁力研磨刷与喷嘴产生相对运动而形成随机频繁的相互撞击、滑擦,达到抛光喷嘴表面和去毛刺的目的。通过3D超景深电镜观察了研磨前后喷嘴表面微观形貌。试验结果表明:利用混合磨料能够有效地去除喷嘴微小表面区域和沟槽的毛刺、飞边等缺陷,使表面形貌得到改善。

关键词：喷嘴旋转电磁场磁力研磨磁针混合磨料毛刺

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

混合磨料抛光单晶蓝宝石工艺研究

混合磨料抛光单晶蓝宝石工艺研究

作者：童勇强安徽工程大学

学位级别：硕士

单晶蓝宝石因其具有优异的物理和化学性能,在国防武器装备和民生领域具有广泛的应用前景。高性能装备对单晶蓝宝石表面质量要求十分苛刻,通过抛光来提高单晶蓝宝石表面质量显得非常必要。在众多抛光中,化学机械抛光是唯一被广泛认可的... 详细信息

单晶蓝宝石因其具有优异的物理和化学性能,在国防武器装备和民生领域具有广泛的应用前景。高性能装备对单晶蓝宝石表面质量要求十分苛刻,通过抛光来提高单晶蓝宝石表面质量显得非常必要。在众多抛光中,化学机械抛光是唯一被广泛认可的提供全局平面化的技术。但目前化学机械抛光技术普遍存在抛光效率低的问题。为了提高抛光效率,本文通过对比单一磨料与混合磨料对单晶蓝宝石抛光性能的影响,优化抛光浆料。然后,在磨粒运动轨迹仿真参数下对抛光工艺参数进行优化。开展的主要工作包括:1)不同磨料对单晶蓝宝石基片抛光性能的影响按照一定比例配置好三种不同抛光浆料,利用单因素实验法,对比分析三种不同磨料对蓝宝石抛光表面粗糙度、材料去除速率和表面形貌的影响,得出SiO2/Cr2O3混合磨料抛光单晶蓝宝石的效果最佳。2)磨粒运动轨迹的计算与仿真通过分析计算建立磨粒相对于工件表面运动轨迹模型,利用Matlab对不同转速比、偏心距、径向距离和磨粒初始角度下磨粒在工件表面的运动轨迹进行仿真模拟,得出不同参数下磨粒运动轨迹的规律。最终结果显示当转速比为（?）,偏心距为60mm时,抛光浆料对工件的材料去除率最大。3)化学机械抛光工艺参数的优化选择影响化学机械抛光的主要因素,以抛光过程中材料去除速率MMR和表面粗糙度Ra为参考,利用正交实验对化学机械抛光加工工艺参数进行优化。以材料去除率为主导,在考虑表面质量的基础上,最佳的抛光工艺参数:抛光压力25kpa,抛光盘转速80r/min,抛光液流速100ml/min,偏心距15mm。

关键词：单晶蓝宝石化学机械抛光混合磨料表面粗糙度材料去除速率

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

平面磁研磨使用铁粉混合磨料的研究

新技术新工艺 1997年第6期 14-15页

作者：王风辉刘云进村武男鞍山钢铁学院鞍山热能研究所日本宇都宫大学

使用铁粉混合磨料对硬质材料的平面磁研磨方法，可大幅度提高研磨效率，降低磨料成本，并能得到表面粗糙度Ｒｍａｘ＝０．０５μｍ的超精密研磨的效果。

关键词：铁粉混合磨料硬质材料平面磁研磨

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

前混合磨料射流供砂系统的控制

高压水射流 1991年第44期 92-98页

作者：王希平刘本立

混合磨料柔性抛光工具加工蓝宝石衬底技术研究

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

机械工程学报 2020年第7期56卷 71-71页

作者：许永超徐西鹏(指导) 陆静(指导) 华侨大学

由于蓝宝石材料硬度大、脆性高和耐腐蚀,传统的铜抛和化学机械抛光方法存在着加工效率低、成本高和污染环境等缺点。本文基于固相反应原理提出了软硬混合磨料抛光蓝宝石衬底的新构想,开展了针对蓝宝石衬底的混合磨料抛光技术研究。

关键词：化学机械抛光蓝宝石衬底混合磨料固相反应抛光技术材料硬度加工效率耐腐蚀

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

刚玉和碳化硅混合磨料陶瓷砂轮的研究

金刚石与磨料磨具工程 1999年第2期19卷 32-34页

作者：张岩王季媛王辉李海燕白鸽(集团)股份有限公司 450006

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

刚玉—碳化硅混合磨料陶瓷砂轮的试制与磨削

火花塞与特种陶瓷 1994年第2期 45-46,F003页

作者：丁辛喜

混合磨料柔性抛光工具加工蓝宝石衬底技术研究

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

金属加工（冷加工） 2020年第11期 I0030-I0030页

作者：许永超徐西鹏(指导) 陆静(指导) 华侨大学不详

由于蓝宝石材料硬度大、脆性高和耐腐蚀,传统的铜抛和化学机械抛光方法存在着加工效率低、成本高和污染环境等缺点。本文基于固相反应原理提出了软硬混合磨料抛光蓝宝石衬底的新构想,开展了针对蓝宝石衬底的混合磨料抛光技术研究。通过... 详细信息

由于蓝宝石材料硬度大、脆性高和耐腐蚀,传统的铜抛和化学机械抛光方法存在着加工效率低、成本高和污染环境等缺点。本文基于固相反应原理提出了软硬混合磨料抛光蓝宝石衬底的新构想,开展了针对蓝宝石衬底的混合磨料抛光技术研究。通过理论和试验的方法研究了不同种类软磨料与蓝宝石在研抛条件下的反应活性。研究表明在摩擦力诱导的条件下,二氧化硅较氧化镁和氧化铁磨料对蓝宝石具有更高的反应活性,最易与蓝宝石发生固相化学反应生成硅酸铝盐。

关键词：化学机械抛光蓝宝石衬底固相化学反应混合磨料固相反应抛光技术反应活性二氧化硅