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  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 紫外单色仪
  • 1 篇 深紫外滤光膜
  • 1 篇 薄膜应力
  • 1 篇 光学薄膜
  • 1 篇 高陡度

机构

  • 1 篇 长春理工大学
  • 1 篇 中山吉联光电科技...

作者

  • 1 篇 黄卓彬
  • 1 篇 付广元
  • 1 篇 林兆文
  • 1 篇 王奔
  • 1 篇 潘永刚
  • 1 篇 付秀华
  • 1 篇 蔡元浩
  • 1 篇 董所涛

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=深紫外滤光膜"
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深紫外高陡度滤光膜的研制
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光学学报 2024年 第7期44卷 252-260页
作者： 蔡元浩 付秀华 林兆文 王奔 黄卓彬 潘永刚 董所涛 付广元 长春理工大学光电工程学院 吉林长春130022 长春理工大学中山研究院 广东中山528437 中山吉联光电科技有限公司 广东中山528437
为抑制非相干光产生的干扰,提高紫外单色仪的分辨率,本文选择Al2O3、AlF3分别作为高、低折射率材料,在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法,解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题;... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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