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星用抗静电导电膜光电性能评价方法

中国空间科学技术 1992年第1期12卷 39-43页

作者：卢榆孙李华蔡纯兰州物理研究所

对卫星表面某些高绝缘材料表面,通过物理气相淀积(PVD)技术进行改性使之满足卫星表面控制充电的要求,是一种极为有效的技术途径。但为了高可靠与长寿命,必须对所制备的膜进行充分和必要的各项性能检验与考核。这包括充电性能、光电性能... 详细信息

对卫星表面某些高绝缘材料表面,通过物理气相淀积(PVD)技术进行改性使之满足卫星表面控制充电的要求,是一种极为有效的技术途径。但为了高可靠与长寿命,必须对所制备的膜进行充分和必要的各项性能检验与考核。这包括充电性能、光电性能和膜在各种条件下的稳定性试验。文章就这一系列的试验要求和目的作了讨论。

关键词：汽相淀积导电膜性能试验卫星

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LPCVD掺氧多晶硅电学特性研究

电子科学学刊 1991年第4期13卷 372-377页

作者：潘尧令王云珍王济身华东师范大学电子科学技术系

本文通过测量电导率特性对LPCVD掺氧多晶硅(SIPOS)的电学特性进行了研究。结果表明,SIPOS的电学特性与其含氧量和退火温度有关。SIPOS的含氧量增加,其电导率下降;在退火过程中,随退火温度的不同,SIPOS的电导率的变化存在两个不同过程:... 详细信息

本文通过测量电导率特性对LPCVD掺氧多晶硅(SIPOS)的电学特性进行了研究。结果表明,SIPOS的电学特性与其含氧量和退火温度有关。SIPOS的含氧量增加,其电导率下降;在退火过程中,随退火温度的不同,SIPOS的电导率的变化存在两个不同过程:低温退火过程中,电导率的变化与SIPOS中的Si-O键的分布和作用有关;而在高温退火过程中,电导率的变化则是SIPOS薄膜再结晶的结果。本文对SIPOS的掺杂效应也进行了研究。结果表明,SIPOS掺杂后电导率明显提高;而含氧量对掺杂后的SIPOS的电导率的提高具有明显的抑制作用。

关键词：掺氧多晶硅汽相淀积电学特性

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非晶态金属的微结构和磁各向异性

物理 1984年第12期 720-725页

作者：林肇华北京大学物理系

非晶态原子分布的长程无序特征,意味着非晶态材料宏观看来应当是均匀的和各向同性的.然而实际观测表明,许多非晶态材料的一些宏观性质常常具有某种各向异性的特点.这似乎与非晶态结构的长程无序性是矛盾的. 事实上,实际的非晶态材料常... 详细信息

非晶态原子分布的长程无序特征,意味着非晶态材料宏观看来应当是均匀的和各向同性的.然而实际观测表明,许多非晶态材料的一些宏观性质常常具有某种各向异性的特点.这似乎与非晶态结构的长程无序性是矛盾的. 事实上,实际的非晶态材料常常存在某些与制备过程(包括某些热处理过程)有关的结构涨落和不均匀性.虽然它们基本上不影响非晶态结构长程无序的总特征,但是它们将破坏非晶态结构短程序的完全无规性.它们分布的各向异性将可能导致非晶态材料宏观性质出现各向异性.一般的热处理将使非晶态材料的结构趋于均匀化.但是在各向异性的应力场下热处理或在各向异性的电场或磁场中热处理,将可能在某些非晶态材料中引起指向有序的微结构.本文将集中讨论非晶态金属(包括合金)的微结构和有关的磁各向异性问题. 从原子角度看来,即使最均匀的理想的非晶态材料原则上也存在局域“晶场”各向异性.所谓局域晶场,指的是材料中某原子周围的原子在该原子处的总电场.显然,原子处的局域晶场一般是各向异性的.它将使该原子的电子轨道倾向于取某一方向.磁性电子的自旋-轨道耦合将使原子总自旋也随之倾向于某一空间取向.仅仅是由于非晶态原子排列的无规性,使得这些局域晶场各向异性是无规分布的,从...

关键词：非晶态金属汽相淀积磁各向异性磁性非晶态合金金属玻璃精密合金微结构土壤结构

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化学束外延介绍

半导体情报 1990年第3期27卷 10-15,9页

作者：李松法

化学束外廷(Chemical Beam Epitaxy,简称CBE)是一种由分子束外延(MBE)和金属有机物化学汽相淀积(MOCVD)发展而来的新技术,它结合了MBE的束的属性和MOCVD的控制和采用全汽相源的特点,它综合了两者的优点而使各自的缺点得到弥补。最近用... 详细信息

化学束外廷(Chemical Beam Epitaxy,简称CBE)是一种由分子束外延(MBE)和金属有机物化学汽相淀积(MOCVD)发展而来的新技术,它结合了MBE的束的属性和MOCVD的控制和采用全汽相源的特点,它综合了两者的优点而使各自的缺点得到弥补。最近用化学束外延得到的结果表明CBE具有超过MBE和MOCVD的潜力而成为一种非常重要的新的外延技术。本文主要通过与MBE和MOCVD的对比,对CBE作了简单的介绍。

关键词：化学束外延汽相淀积半导体

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