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文献类型

  • 2 篇 期刊文献
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馆藏范围

  • 3 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 3 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 3 篇 氮氧化硅驻极体
  • 3 篇 微型化
  • 2 篇 电荷稳定性
  • 2 篇 表面电导
  • 1 篇 电荷稳定性及其动...
  • 1 篇 表面处理

机构

  • 3 篇 同济大学
  • 1 篇 深圳豪恩电声科技...

作者

  • 3 篇 夏钟福
  • 3 篇 付晓明
  • 2 篇 李军
  • 2 篇 张鹏锋
  • 2 篇 安振连
  • 2 篇 王丽
  • 2 篇 吴贤勇
  • 1 篇 沈莉莉
  • 1 篇 周涛
  • 1 篇 张晓青

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=氮氧化硅驻极体"
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化学表面处理对微型化的氮氧化硅驻极体层电荷储存性能的影响
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功能材料与器件学报 2007年 第1期13卷 13-17页
作者： 沈莉莉 夏钟福 周涛 付晓明 张晓青 同济大学波耳固体物理研究所 上海200092
研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响,考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用。借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比,研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
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功能材料 2004年 第Z1期35卷 1494-1496页
作者： 吴贤勇 付晓明 夏钟福 安振连 张鹏锋 王丽 李军 同济大学 波尔固体物理研究所上海200092 同济大学波尔固体物理研究所上海200092 同济大学波尔固体物理研究所上海200092 同济大学波尔固体物理研究所上海200092 同济大学波尔固体物理研究所上海200092 深圳豪恩电声科技有限公司广东深圳518109 深圳豪恩电声科技有限公司广东深圳518109
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导
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第五届中国功能材料及其应用学术会议
作者： 吴贤勇 付晓明 夏钟福 安振连 张鹏锋 王丽 李军 同济大学波尔固体物理研究所 深圳豪恩电声科技有限公司
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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