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    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 热阴极直流辉光等...
  • 1 篇 氩气/甲烷/氢气混...
  • 1 篇 纳米晶金刚石膜

机构

  • 1 篇 海南师范大学
  • 1 篇 大连理工大学
  • 1 篇 牡丹江师范学院

作者

  • 1 篇 彭鸿雁
  • 1 篇 赵立新
  • 1 篇 孙丽
  • 1 篇 赵万邦
  • 1 篇 姜宏伟

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=氩气/甲烷/氢气混合气"
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热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜的研究
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材料导报 2015年 第4期29卷 6-9,17页
作者： 彭鸿雁 赵万邦 赵立新 姜宏伟 孙丽 海南师范大学物理与电子工程学院 海口571158 大连理工大学汽车工程学院 大连116024 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料黑龙江省重点实验室 牡丹江157012
采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米晶金刚石膜沉积的影响。对样品形貌的SEM测试表明,随着氩气与氢气流量比由40/160增加到190/10,膜中金刚石晶粒尺寸由... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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