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文献类型

  • 4 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 4 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 4 篇 工学
    • 4 篇 材料科学与工程(可...
    • 1 篇 光学工程
    • 1 篇 电子科学与技术(可...

主题

  • 4 篇 氧氩流量比
  • 2 篇 透光率
  • 1 篇 光致发光
  • 1 篇 al掺杂zno薄膜
  • 1 篇 zno薄膜
  • 1 篇 微结构
  • 1 篇 ito膜
  • 1 篇 无机非金属材料
  • 1 篇 射频反应溅射
  • 1 篇 磁控溅射
  • 1 篇 光电性能
  • 1 篇 电阻率
  • 1 篇 反应溅射
  • 1 篇 氧化铋薄膜

机构

  • 1 篇 河南教育学院
  • 1 篇 北部湾大学
  • 1 篇 安徽大学
  • 1 篇 广西大学
  • 1 篇 郑州大学
  • 1 篇 鲁东大学
  • 1 篇 合肥师范学院

作者

  • 1 篇 孙兆奇
  • 1 篇 汪小小
  • 1 篇 于芬
  • 1 篇 夏齐萍
  • 1 篇 邓文
  • 1 篇 林钰
  • 1 篇 辛荣生
  • 1 篇 周际越
  • 1 篇 彭富平
  • 1 篇 吕建国
  • 1 篇 陈真英
  • 1 篇 闫金良
  • 1 篇 宋学萍
  • 1 篇 马秋明

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=氧氩流量比"
4 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响
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真空科学与技术学报 2011年 第4期31卷 393-396页
作者: 汪小小 夏齐萍 吕建国 宋学萍 孙兆奇 安徽大学物理与材料科学学院 合肥230039 合肥师范学院物理与电子工程系 合肥230061
在室温下,利用射频磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备ZnO薄膜。通过控制O2/Ar流量比,研究O2/Ar流量比对ZnO薄膜的微结构、表面形貌及其光致发光特性的影响。X射线衍射仪和原子力显微镜结果显示,当O2/Ar流量比为3∶4时,所得薄膜... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
氧氩流量比对Al掺杂ZnO薄膜光电性能的影响
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2007年 第Z1期28卷 153-156页
作者: 于芬 闫金良 马秋明 鲁东大学物理与电子工程学院 烟台264025 鲁东大学物理与电子工程学院烟台264025 鲁东大学物理与电子工程学院烟台264025
为了研究气对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响,用射频反应磁控溅射方法制备了化锌掺铝(ZAO)薄膜,靶材为锌铝合金靶,并研究了薄膜的透光率跟氧氩流量比的关系以及同一氧氩流量比下薄膜光学性能随温度变化的规律.实验结果表明,200℃下流... 详细信息
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氧氩流量比化铋纳米薄膜微结构及光电性能的影响研究
收藏 引用
广西大学学报(自然科学版) 2021年 第6期46卷 1620-1627页
作者: 陈真英 周际越 邓文 彭富平 北部湾大学理学院 广西钦州535011 广西大学物理科学与工程技术学院 广西南宁530004
为了制备出不同光电性能的化铋薄膜,并明晰其性能机理,以便后续研究与化锌薄膜复合成压敏薄膜。采用磁控溅射法,改变溅射气氛中气和气的流量比,在玻璃衬底上制备出了三个化铋薄膜样品,并对其微观形貌、结构及光电性能进行了... 详细信息
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ITO薄膜厚度和含量对其结构与性能的影响
收藏 引用
电子元件与材料 2007年 第7期26卷 21-23页
作者: 辛荣生 林钰 郑州大学材料科学与工程学院 河南郑州450052 河南教育学院化学系 河南郑州450014
在玻璃衬底上用直流磁控溅射的方法镀制ITO透明半导体膜,采用X射线衍射技术分析了膜层晶体结构与薄膜厚度和含量的关系,并测量了薄膜电阻率及透光率分别随膜厚和含量的变化情况。以低氧氩流量比(1/40)并控制膜厚在70nm以上进行镀膜... 详细信息
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