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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 光学工程
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 2 篇 能量探测
  • 2 篇 极紫外
  • 2 篇 气体放电等离子体...
  • 2 篇 反射率
  • 2 篇 归一化

机构

  • 2 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 中国科学院微电子...
  • 1 篇 中国科学院微电子...

作者

  • 2 篇 沙鹏飞
  • 2 篇 王魁波
  • 2 篇 张良乐
  • 2 篇 谢婉露
  • 2 篇 吴晓斌
  • 2 篇 方旭晨
  • 2 篇 韩晓泉
  • 2 篇 高梓翔

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=气体放电等离子体光源"
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基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究
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中国激光 2024年 第7期51卷 196-202页
作者： 张良乐 韩晓泉 谢婉露 吴晓斌 方旭晨 高梓翔 沙鹏飞 王魁波 中国科学院微电子研究所光电技术研发中心 北京100029 中国科学院大学 北京100049
基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究
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中国激光 2023年
作者： 张良乐 韩晓泉 谢婉露 吴晓斌 方旭晨 高梓翔 沙鹏飞 王魁波 中国科学院微电子研究所 光电技术研发中心 中国科学院大学
基于用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置，分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响，提出了一种能量归一化的反射率测试方法，并测试了13.5nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结... 详细信息
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