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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程(可...

主题

  • 1 篇 占空比
  • 1 篇 导模共振
  • 1 篇 亚波长光栅
  • 1 篇 正弦槽形
  • 1 篇 薄膜
  • 1 篇 薄膜生长

机构

  • 1 篇 上海理工大学

作者

  • 1 篇 陈麟
  • 1 篇 倪争技
  • 1 篇 袁丽萌
  • 1 篇 朱亦鸣
  • 1 篇 庄松林
  • 1 篇 黄元申
  • 1 篇 张大伟

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=正弦槽形"
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导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响
收藏 引用
中国激光 2009年 第11期36卷 3060-3063页
作者: 张大伟 袁丽萌 黄元申 倪争技 陈麟 朱亦鸣 庄松林 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室 上海200093
为了研究亚波长光栅表面上薄膜的生长特性,以及镀膜对亚波长光栅物理特性的影响,对亚波长正弦槽形光栅表面上镀的Au膜进行了实验研究和理论分析。实验发现,当光栅槽深为80nm,Au膜为100nm时,薄膜的生长是仿形生长,光栅的正弦槽形特征和... 详细信息
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