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0.35微米锗硅HBT工艺和器件模拟及校准方法的探讨

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0.35微米锗硅HBT工艺和器件模拟及校准方法的探讨

作者：夏春秋复旦大学

学位级别：硕士

GeSi-HBT器件由于在薄的基区部分掺入窄禁带的Ge材料,使得最终形成的结构里发射极是异质结,基区的禁带宽度比发射极区的窄,载流子在基区的渡越时间很短,因而可以获得更高的截止频率和放大系数。在SiGe HBT的研发过程中,人们通常采用TCA... 详细信息

GeSi-HBT器件由于在薄的基区部分掺入窄禁带的Ge材料,使得最终形成的结构里发射极是异质结,基区的禁带宽度比发射极区的窄,载流子在基区的渡越时间很短,因而可以获得更高的截止频率和放大系数。在SiGe HBT的研发过程中,人们通常采用TCAD模拟软件对SiGe HBT器件进行模拟,以提高研发速度,减少试验片的投入。但是在模拟的过程中往往会遇到很多问题,比如如何在工艺模拟中模拟SiGe材料,如何在器件特性模拟中对结果进行校准。本文系统研究了0.35微米SiGe HBT的NPN器件模拟,包括从器件工艺到器件特性的输出,深入分析了如何对模拟的结果进行校准的问题。本文结果对代工厂开发GeSi-HBT产品具有重要的指导意义。在工艺模拟的部分,本文研究了各工艺步骤的模拟,包括使用应力依赖的氧化模型对LOCOS结构进行模拟,使用点缺陷模型、激活模型、杂质表面累计模型及杂质表面丢失模型对扩散过程进行模拟。在模拟硼元素在SiGe材料里的扩散的时候,本文使用了和锗浓度相关的硼扩散模型。器件模拟部分,本文分析了模拟中使用的各个物理模型,包括使用依赖于摩尔比的SiGe禁带宽度变化模型、精确的菲利普归一化的迁移率模型(Phumob)和康拉德迁移率模型、与杂志浓度相关的禁带宽度窄化模型、SRH和俄歇模型。详细研究了各个直流电学特性的模拟及设置方法以及使用混合模拟模式对器件的频率特性进行模拟。论文分析了模拟结果的校准,在工艺校准上保证了获得和生产线一致的结构,排除了模拟的输入和实际生产线条件的差异。掺杂形貌校准是工艺模拟校准的核心,特别是对于多晶硅发射极的浅结的校准,本文使用了电学测量的CV数据来辅助校准浅的多晶硅发射极。器件特性的校准中,对使用的迁移率模型,禁带宽度窄化模型以及产生和复合模型进行了校准,逐步分析和校准了器件的Gummel曲线、ICVC曲线、BVceo、BVcbo和BVebo的曲线,并对器件频率特性中的截止频率的校准方法进行了详细探讨。校准后模拟的器件特性与测量数据拟合得非常好,对相同工艺流程下不同工艺条件的其他器件进行模拟,预测的结果令人满意。

关键词： SiGe-HBT器件模拟校准工艺模拟

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红外线气体分析记录仪模拟校准及检定方法

航空计测技术 1997年第2期17卷 12-15页

作者：肖润陆江南机器厂湖南省湘潭市411207

叙述了模拟校准红外线气体分析记录仪标尺刻度的工作原理，介绍了模拟核准该仪器标尺刻度的方法及其改进的检定方法。提高了该仪器的测量准确度，减小了其示值误差和测量不确定度。

关键词：模拟校准检定记录仪红外线气体分析仪

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浅谈大型工艺衡器的模拟校准

衡器 2010年第11期39卷 24-26页

作者：孙克祥纪荣胜泰钢自动化部

泰钢公司随着规模的日益扩大,大型衡器每年都在增多,如上百吨的电子汽车衡、料斗秤、钢包秤、轨道衡、料位计等,因没有大吨级标准砝码、使校准工作成为一大难题,笔者通过应用实践总结出一套简单易行的模拟校准方法,起到了良好的应用效果。

关键词：大型工艺衡器模拟校准称重传感器称重显示器砝码信号发生器

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放射性氙测量中的天然源γ谱仪校准技术

原子能科学技术 2014年第1期48卷 137-141页

作者：龙斌吴睿成智威冯天成庞璐申茂泉清华大学工程物理系北京100084 西北核技术研究所陕西西安710024

基于禁核试核查现场视察的需求,研制了用于放射性氙测量的模拟气体源,实现了133 Xe 81.0keVγ射线的效率校准。放射源基质为聚苯乙烯泡沫颗粒,母体核素为226 Ra,采用不锈钢外壳封装,同时采用碳纤维窗以减少射线的衰减。放射源研制完成后... 详细信息

基于禁核试核查现场视察的需求,研制了用于放射性氙测量的模拟气体源,实现了133 Xe 81.0keVγ射线的效率校准。放射源基质为聚苯乙烯泡沫颗粒,母体核素为226 Ra,采用不锈钢外壳封装,同时采用碳纤维窗以减少射线的衰减。放射源研制完成后,对其进行气密性和均匀性检验。当放射源达到平衡后,测量214Pb的特征X射线的探测效率,然后插值计算得到133 Xe 81.0keVγ射线的探测效率。为检验校准结果的正确性,制作了一个基质和几何尺寸均与226 Ra源相同的155 Eu放射源,并在相同测量条件进行了实验。结果表明,155 Eu 86.5keVγ射线和214Pb 87.3keV X射线的探测效率之间的相对偏差小于1.0%。

关键词：放射性氙测量模拟校准现场视察

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高性能A/D转换器校准技术研究进展

微电子学 2020年第2期50卷 202-206页

作者：赖凡徐梓丞戴永红中国电子科技集团公司第二十四研究所重庆400060 电子科技大学格拉斯哥学院成都611731

A/D转换器(ADC)的校准技术是提高高性能ADC转换精度的必要手段,它分为模拟校准技术和数字校准技术。数字校准技术较之模拟校准技术更为有效和更具灵活性。数字校准技术是在数字域进行错误代码计算,减轻了对模拟电路的精度要求。在主流... 详细信息

A/D转换器(ADC)的校准技术是提高高性能ADC转换精度的必要手段,它分为模拟校准技术和数字校准技术。数字校准技术较之模拟校准技术更为有效和更具灵活性。数字校准技术是在数字域进行错误代码计算,减轻了对模拟电路的精度要求。在主流制造工艺小尺寸化的趋势之下,许多创新的校准技术得到发展,并广泛应用于包括射频直接采样ADC在内的高速高精度ADC中。本文在分析最新的高速高精度ADC中采用的主要校准技术的基础上,重点研究了几种高采样率高精度ADC所采用的校准技术,侧重分析了数字校准技术。

关键词： A/D转换器模拟校准数字校准时间交织单通道校准通道间校准

一种16位100MSPS CMOS流水线式模数转换器

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一种16位100MSPS CMOS流水线式模数转换器

作者：魏伟西安电子科技大学

学位级别：硕士

高速高精度模数转换器广泛应用于现代无线通信系统、成像雷达等高端电子信息系统，如移动通信基站、雷达接收机。流水线模数转化器在速度、精度、功耗和面积上有着较好的折中，所以流水线模数转化器是实现高速高精度模数转化器一种最重... 详细信息

高速高精度模数转换器广泛应用于现代无线通信系统、成像雷达等高端电子信息系统，如移动通信基站、雷达接收机。流水线模数转化器在速度、精度、功耗和面积上有着较好的折中，所以流水线模数转化器是实现高速高精度模数转化器一种最重要的方式。本文介绍了一种16位100MSPS CMOS流水线模数转换器。该模数转换器主要由前级的采样保持电路、随后四级MDAC和最后一级flash ADC组成。采用压缩第一级MDAC的输出，扩展下级MDAC的量化范围来实现相应的数字校正，从而消除比较器失调所引起的误码。在测试工作模式下，对前两级MDAC的子DAC中电容失配所引起的误差进行模拟校准。本文采用SMIC0.18μm1P6M CMOS工艺来实现电路的物理版图，总体面积为5mm*5mm。在3.3V电源下，当输入信号的幅值为-1dBFS，频率为9.8632MHz，采样时钟的频率为100MHz时，SNDR为81.73dB，SFDR为98.25dB，模数转换器的有效位为13.28位，总功耗为831.6mW。

关键词：流水线模数转换器数字校正模拟校准 CMOS

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正电子发射核素的电离室校准方法

现代计量测试 2001年第1期9卷 31-36页

作者：马国华中国计量科学研究院北京100013

研究了正电子发射核素在多种结构电离室中的三种模拟校准方法。给出了适当的模拟核素及模拟校准的计算方法。

关键词：正电子发射核素能量响应曲线模拟校准电离室校准方法

基于ADμC812的高速数据采集系统的设计与应用

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兰州教育学院学报 2009年第1期25卷 61-63页

作者：赵尉舟练斌柯辽原周融浙江工商大学信息与电子工程学院浙江杭州310018

ADμC812是一款高性能的数据采集智能集成芯片,可应用于多种数据采集系统的设计。本文分析和介绍一种基于ADμC812的瞬时力测量数据采集系统的设计方案和相关软件。为获得较小误差,本设计采用模拟校准法,建立了测量原型,将测误差控制在... 详细信息

ADμC812是一款高性能的数据采集智能集成芯片,可应用于多种数据采集系统的设计。本文分析和介绍一种基于ADμC812的瞬时力测量数据采集系统的设计方案和相关软件。为获得较小误差,本设计采用模拟校准法,建立了测量原型,将测误差控制在±2%以内,并通过模拟信号发生器、波形采样器和PC上位机的软件设计,配合硬件上的设计,保证了设计目标的精确性与可信度。

关键词： ADμC812 数据采集模拟校准波形采样

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有关电子皮带秤电子校准精度的分析

衡器 1997年第6期26卷 20-23页

作者：孙春华济南金钟电子衡器股份有限公司

本文针对现有电子皮带秤电子校准精度较低这一问题,分析了其误差产生的原因,推导出了电子校准精度的理论计算公式,以改进现有电子校准的数学模型,应用于实践中。

关键词：校准精度模拟校准电子校准电子皮带秤