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  • 88 篇 工学
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主题

  • 121 篇 椭圆偏振光谱
  • 21 篇 光学常数
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  • 7 篇 薄膜
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  • 3 篇 光学带隙
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  • 3 篇 半导体材料
  • 3 篇 x射线光电子能谱
  • 3 篇 色散模型
  • 3 篇 无定形硅
  • 3 篇 溅射

机构

  • 14 篇 复旦大学
  • 13 篇 中山大学
  • 12 篇 重庆大学
  • 11 篇 广西大学
  • 8 篇 山东大学
  • 6 篇 曲阜师范大学
  • 6 篇 昆明物理研究所
  • 6 篇 江南大学
  • 4 篇 中国科学院上海技...
  • 4 篇 华东师范大学
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  • 3 篇 深圳大学
  • 3 篇 郑州大学
  • 3 篇 厦门大学
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  • 2 篇 浙江大学
  • 2 篇 北京工业大学
  • 2 篇 中国科学院上海硅...
  • 2 篇 日本名古屋大学
  • 1 篇 华南师范大学

作者

  • 10 篇 莫党
  • 9 篇 黄宗卿
  • 7 篇 张淑芝
  • 6 篇 张胜涛
  • 6 篇 孙晓娟
  • 5 篇 陈良尧
  • 5 篇 李秋俊
  • 5 篇 姬荣斌
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  • 4 篇 唐利斌
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  • 3 篇 王盼盼
  • 3 篇 万玲玉
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语言

  • 121 篇 中文
检索条件"主题词=椭圆偏振光谱"
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VO2薄膜及W掺杂VO2薄膜的椭偏光谱表征
VO2薄膜及W掺杂VO2薄膜的椭偏光谱表征
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TFC'15全国薄膜技术学术研讨会
作者: 王盼盼 张云龙 吴玲南 曹韫真 宋力昕 章俞之 中国科学院上海硅酸盐研究所
利用MSP-3200三靶共溅射镀膜机,射频磁控溅射在石英基底上反应溅射制备了单斜相(M相)VO薄膜及W掺杂单斜相(M相)VO薄膜。利用WVASE32椭圆偏振仪及变温附件在350nm2500nm波长范围内对相变前后的VO薄膜及W掺杂VO薄膜进行光谱测试,运用Lore... 详细信息
来源: cnki会议 评论
氮化铝超宽禁带半导体薄膜的拉曼及椭偏光谱学研究
氮化铝超宽禁带半导体薄膜的拉曼及椭偏光谱学研究
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第二十届全国光散射学术会议(CNCLS20)
作者: 王炳军 尹军华 孙晓娟 黎大兵 何开岩 万玲玉 冯哲川 广西大学物理科学与工程技术学院 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室
一系列的超宽禁带半导体氮化铝薄膜采用了MOCVD生长,这些薄膜有着不同位错密度[1]。我们选择其中典型的两片(000,001)进行深入的深紫外(266nm)和可见光(532nm)拉曼光谱椭圆偏振光谱的研究。细致的分析增进了对氮化铝薄膜的特性... 详细信息
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实验技术促进椭偏光谱研究与应用
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国际学术动态 1998年 第4期 31-31,38页
作者: 陈良尧 复旦大学物理系
第2届国际椭圆偏振光谱会议于1997年5月12日至15日在美国南卡罗来纳州查尔斯敦市召开,有20多个国家的200多位代表参加会议。国际凝聚态物理领域的学术会议大致可分为三类:一类像美国的三月会议,参加的人很多,内容和方向也较为分散;第二... 详细信息
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元素半导体
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电子科技文摘 2000年 第3期 6-7页
0003568ITO 作填料的涂层光谱特性研究[刊]/於定华//功能材料.—1999,30(6).—660~662(C)0003569乙烯对 CVD 法制备硅薄膜性能的影响[刊]/张溪文//功能材料.—1999,30(6).—649~650(C)0003570修正 Tersoff 势在熔态硅分子动力学模拟... 详细信息
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博士学位是这样得来的——2002年“启明星”、上海技术物理所黄志明访问记
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世界科学 2005年 第4期 24-25页
作者: 江世亮 上海中博创业投资有限公司
今年3月8日我从中科院网站上看到一则消息,称由中科院上海技物所黄志明博士主持的启明星项目'高红外吸收室温型铁电薄膜红外探测器结构研究'通过专家验收.专家组的评议认为,黄志明主持的这一研究成果具有创新性,该项目的进一步研究将有... 详细信息
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光谱学与光谱技术
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中国光学 1999年 第3期13卷 12-13页
O433.5 99031483用反射椭圆偏振光谱获得波长调制反射谱=Wavelengthmodulated reflection spectra obtained byreflective ellipsometric spectroscopy[刊,中]/张淑芝,连洁,张燕峰(山东大学光电系.山东,济南(250100))//物理.—1998,27(1... 详细信息
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偶氮染料掺杂高分子PM MA薄膜的光学参数
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光学学报 2000年 第4期20卷 565-569页
作者: 王光斌 李晶 侯立松 干福熹 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800
在单晶硅片上 ,利用旋涂法 ,制备了偶氮染料掺杂高分子 (PMMA)薄膜 ,利用可变入射角、波长扫描的全自动椭圆偏振光谱仪 ,研究了薄膜的复折射率、吸收系数和厚度 ,分析了影响薄膜电子光谱的因素。研究结果表明 ,该薄膜在 4 0 0~ 6 0 0 n... 详细信息
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椭偏光谱及在离子注入硅损伤研究中的应用
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半导体技术 2000年 第5期25卷 33-37页
作者: 阳生红 莫党 中山大学物理系 广州510275
介绍了椭圆偏振光谱(SE)的原理,给出了椭偏仪在离子注入半导体的辐照损伤研究中的应用和局限。研究表明,结合其它分析手段并建立精细的椭偏模型。椭圆偏振光谱能定量测量各层结构的厚度、成分、气孔率和光学常数。
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现代椭偏光谱学的回顾与展望
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光谱实验室 1999年 第1期16卷 19-23页
作者: 陈篮 莫党 中国人民解放军广州通信学院基础教研室 中山大学物理系
本文回顾了独具特色的椭偏光谱学近一个世纪的历史发展,综述了椭偏光谱学的应用现状,指出了其前沿研究领域,并对这一古老而又年轻的光谱学分支作了展望。
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材料光学性能测试与设备
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中国光学 2000年 第2期14卷 91-91页
TB96 2000021359非晶态高聚物的椭圆偏振光谱的光学折射率的测定=Spectroscopic ellipsometry characteristics andoptical refractive indexes of amorphous polymers[刊,中]/方鲲,许家瑞,麦堪成,王晓(中山大学材料科学研究所.聚合物... 详细信息
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