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本文讨论了在光学仪器装配过程中,用误差校正环(一个常数校正环加两个以下函数校正环)在额定工作条件下,对仪器误差进行校正的可能性。导出了误差校正后,各原始误差和校准误差的误差传递系数计算公式(使用上述误差校正环只能补偿仪器的系统误差)。为保证某个性能指标,在一次操作中同时使用的误差校正环数目最好不要超过三个。本文得出的结论对光学仪器装调用误差校正环的设计具有一定的指导意义。

关键词：校正环装调系统误差误差校正误差修正仪器设计校准点制造误差额定工作条件光学仪器

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仪器装调用误差校正环作用分析

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仪器仪表学报 1987年第1期8卷 81-84页

作者：金毅民西安应用光学研究所

一前言进行仪器设计时,常合理地预设一些误差校正环,供装调仪器时校正仪器系统误差用。用这种方法可以提高仪器精度,放宽某些零部件的制造公差,特别是当仪器的输出量不是一个单纯的数字,不便于对输出结果进行数值修正时,这种方法尤其适... 详细信息

一前言进行仪器设计时,常合理地预设一些误差校正环,供装调仪器时校正仪器系统误差用。用这种方法可以提高仪器精度,放宽某些零部件的制造公差,特别是当仪器的输出量不是一个单纯的数字,不便于对输出结果进行数值修正时,这种方法尤其适用。从仪器工作原理上看,这些新增加的校正环是仪器“多余的”环节,它们也需要制造和调校。因此,设计仪器时应仔细权衡设置这些误差校正环的利害得失[1][2]。

关键词：误差校正仪器设计校正环制造公差校正仪器校准点误差源利害得失调校输出量

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丝杠磨床传动链误差补偿系统中校正环节的微机控制

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机械科学与技术（江苏） 1994年第6期23卷 39-40页

作者：冯夏勇宾鸿赞华中理工大学

本文提出了一种丝杠磨床传动链误差校正环节的微机控制方法，采用８０９８单片机和８２５３可编程定时／计数器组成硬件电路，配以相应软件，使得校正时占用ＣＰＵ时间少，使ＣＰＵ有更多的时间去处理算法运算，从而达到提高加工精度的... 详细信息

本文提出了一种丝杠磨床传动链误差校正环节的微机控制方法，采用８０９８单片机和８２５３可编程定时／计数器组成硬件电路，配以相应软件，使得校正时占用ＣＰＵ时间少，使ＣＰＵ有更多的时间去处理算法运算，从而达到提高加工精度的目的。

关键词：误差补偿丝杠传动链计算机控制校正环

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基于空间光调制器的飞秒激光光束整形技术

基于空间光调制器的飞秒激光光束整形技术

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作者：方正湖北工业大学

学位级别：硕士

激光加工是一种非接触式的加工方法,具有能量密度高,加工精度高,热影响区小的优点。飞秒激光具有超短脉宽与超高峰值功率的独特优势,被广泛地应用于多领域多材料的微加工过程。然而激光光场强度通常服从高斯分布,这种分布限制了激光技... 详细信息

激光加工是一种非接触式的加工方法,具有能量密度高,加工精度高,热影响区小的优点。飞秒激光具有超短脉宽与超高峰值功率的独特优势,被广泛地应用于多领域多材料的微加工过程。然而激光光场强度通常服从高斯分布,这种分布限制了激光技术在面对复杂加工情况时的适应能力,因此光束整形技术应运而生。本文主要研究了使用空间光调制器(Spatial Light Modulator,SLM)对焦点区域光场强度分布进行整形的多种方案,以适应于特定的加工场景。首先,本文介绍了相关的理论基础,包括高斯光束的理论模型,经相位调制的高斯光束聚焦的仿真原理,光栅的衍射理论以及空间光调制器的工作原理。然后,根据实验要求,设计并搭建了实验系统,依次对三种整形方案进行研究,并获得了如下的结论:其一,实现了环形光斑的整形。通过改变衍射轴锥镜相位全息图的周期以及单脉冲能量,实现了对环形光斑直径以及宽度的控制。加工得到了半径由5.40μm至26.34μm,宽度由2.53μm至5.18μm的环形光斑,与理论计算结果基本保持一致。此外,将原全息图与棱镜或菲涅尔透镜的相位全息图进行叠加,实现了对零阶光的去除。其二,实现了长焦深的整形。通过分析界面折射以及高倍物镜校正环对焦点的离散作用,设计了一种基于衍射轴锥镜的变周期相位全息图。焦点轴向强度分布以加工于聚酰亚胺薄膜(PI)表面微孔的形式表示,其分布与仿真结果一致。使用0.6NA的40倍镜进行散焦加工,当环形闪耀光栅最小环周期为200μm,并由内向外以400μm递增时,可获得50.90μm的均匀焦深,是直接使用高倍物镜聚焦进行加工所获得的6.15μm均匀焦深的8.28倍。此外还通过SLM与校正环进行复合散焦加工,进一步均匀化了整个焦深区域。其三,实现了椭圆光束整形,能够写入具有圆形截面的波导。分析了不同NA值的高倍物镜的焦深及其所带校正环对在透明材料内部直写波导截面的影响,结果显示用小NA值的物镜加工以及界面折射引起的像差都会增大写入波导截面的横纵比。使用中心周期为2mm的菲涅尔柱面镜相位全息图进行试验,成功地在熔融石英内部写入具有近圆形截面的波导,将横纵比由直接使用高倍物镜进行加工的0.182提升到0.875。

关键词：光束整形环形光斑长焦深相位全息图空间光调制器校正环

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变焦物镜象面位移校正与误差分配的优化方法

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应用光学 1986年第2期 1-4页

作者：金毅民兵器工业部二○五所

本相对制造成本减相对功能价值作目标函数,仪器精度条件(仪器总误差≤允(?))作约束条件,建立了仪器精度优化设计的数学模型,并将其应用于变焦物镜象面位移校正和误差分配中,对变焦物镜的校正方法和制造公差进行优化设计。所述仪器精度... 详细信息

本相对制造成本减相对功能价值作目标函数,仪器精度条件(仪器总误差≤允(?))作约束条件,建立了仪器精度优化设计的数学模型,并将其应用于变焦物镜象面位移校正和误差分配中,对变焦物镜的校正方法和制造公差进行优化设计。所述仪器精度优化设计问题是一种维数不高,网点不密,目标函数与个别约束条件比较复杂的非线性优化问题,适宜用经过改进的网格法求解。