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半导体集成电路的柔性生产技术

半导体技术 1995年第6期11卷 10-16页

作者：罗浩平华晶中央研究所

半导体集成电路的柔性生产技术华晶中央研究所（无锡２１４０３５）罗浩平１概述随着微电子技术的迅速发展，半导体ＩＣ的器件容量每三年增加一倍，而位单价每三年减低一半。目前，１６兆位的动态随机存储器（ＤＲＡＭ）及０．５微米的... 详细信息

半导体集成电路的柔性生产技术华晶中央研究所（无锡２１４０３５）罗浩平１概述随着微电子技术的迅速发展，半导体ＩＣ的器件容量每三年增加一倍，而位单价每三年减低一半。目前，１６兆位的动态随机存储器（ＤＲＡＭ）及０．５微米的工艺线已商用化。预计１９９６年６４...

关键词：半导体集成电路柔性生产技术

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柔性生产技术的资源配置要素特征分析

轻工科技 2015年第7期31卷 151-152页

作者：巫凤燕南宁燎旺车灯有限责任公司广西南宁530012

介绍敏捷制造以及柔性生产技术资源配置要素,概述信息技术和信息管理系统为特征的生产组织模式要素,分析生产技术工艺在柔性生产体系中的作用和现状。柔性生产技术的信息体系和制造体系是目前推广和应用柔性技术的短板,也是以后柔性生... 详细信息

介绍敏捷制造以及柔性生产技术资源配置要素,概述信息技术和信息管理系统为特征的生产组织模式要素,分析生产技术工艺在柔性生产体系中的作用和现状。柔性生产技术的信息体系和制造体系是目前推广和应用柔性技术的短板,也是以后柔性生产技术应用的主要方向。

关键词：敏捷制造柔性生产技术生产技术智能化生产工艺技术资源生产技术信息化

MMST RTP的控制:柔性生产技术的重复性、均匀性和集成化

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微电子技术 1995年第3期23卷 53-72页

作者： CharlesSchaper 李宗亚

在RTP半导体器件制造设备中；为控制硅片温度的均匀性和重复性，采用了一种实时多变的策略。它基于工艺的物理模型，采用实验设计程序来估算模型参数。轴心对称加热区域中多区阵列灯的功率采用内部模型控制法则（IMC）的设计方法来进行... 详细信息

在RTP半导体器件制造设备中；为控制硅片温度的均匀性和重复性，采用了一种实时多变的策略。它基于工艺的物理模型，采用实验设计程序来估算模型参数。轴心对称加热区域中多区阵列灯的功率采用内部模型控制法则（IMC）的设计方法来进行自动计算以获得硅片的温度均久性。通过硅片上多点的高温测定法进行温度探测提供实时反馈信息，从而进行控制。为获得温度控制的技术要求，除了IMC外还使用了好几种模块，包括模型规划及防过冲等。该控制策略最早是由斯坦福大学为样机设备而研制的，后来TI公司将其使用在MMST工程中，在八台RTP反应器中处理2种亚微米CMOS工艺的十三种不同的热处理，从而根据定制化，集成化及性能来分析整个控制策略。

关键词： MMST RTP 柔性生产技术 IC 制造工艺控制

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基于柔性生产技术的分色线调度系统设计

工业工程与管理 2006年第5期11卷 90-94页

作者：甘颖杰蒋祖华胡轶敏上海交通大学机械与动力工程学院上海200030 上海大众汽车有限公司上海201805

对当前汽车喷涂作业进行分析,建立了喷涂设备换色频次和POLO轿车油漆车间的生产能力、质量、成本之间的关系;提出了以成组技术为基本原理的柔性分色线调度系统设计方案;利用计算机模拟技术开发模拟分色线软件,对设计方案进行技术、经济... 详细信息

对当前汽车喷涂作业进行分析,建立了喷涂设备换色频次和POLO轿车油漆车间的生产能力、质量、成本之间的关系;提出了以成组技术为基本原理的柔性分色线调度系统设计方案;利用计算机模拟技术开发模拟分色线软件,对设计方案进行技术、经济的分析和比较,制定了最佳的柔性分色线调度系统的设计方案。

关键词：生产调度柔性生产技术模拟分色线

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发动机及前悬架装配柔性生产技术

汽车制造业 2009年第13期 65-66页

作者：董彬肖洋马兆岭长城汽车股份有限公司工程院

当两种车型单线生产需要调整为共线生产时，原装配设备与环境发生了改变．为此经过重新设计。技术人员更改了装配工艺及工装，由原来的发动机与前悬架分别举升更改为总成举升，既满足了生产要求．又降低了工人操作难度。

关键词：柔性生产技术装配设备前悬架发动机生产需要装配工艺技术人员举升

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萨瓦尼尼以柔性生产技术立足中国市场

金属加工（冷加工） 2011年第19期 20-20页

作为世界金属板材柔性加工设备生产的技术典范，意大利萨瓦尼尼公司积极投身于中国的钣金加工机床市场。继2011年中国国际机床展后，又将在上海中国国际工业博览会上与客户相见，并展出萨瓦尼尼先进的紧凑型多边折弯中心P2Xe。对于传统... 详细信息

作为世界金属板材柔性加工设备生产的技术典范，意大利萨瓦尼尼公司积极投身于中国的钣金加工机床市场。继2011年中国国际机床展后，又将在上海中国国际工业博览会上与客户相见，并展出萨瓦尼尼先进的紧凑型多边折弯中心P2Xe。对于传统压力式折弯机而言，此次展出的萨瓦尼尼P2Xe紧凑型多边折弯中心模块化设计更具有竞争力。

关键词：柔性生产技术中国市场中国国际机床展多边折弯中心工业博览会模块化设计设备生产柔性加工