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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 机械工程
    • 1 篇 矿业工程

主题

  • 2 篇 机械模态
  • 1 篇 掩模台
  • 1 篇 运动控制
  • 1 篇 djerk前馈
  • 1 篇 煤矿机械
  • 1 篇 有限元分析

机构

  • 1 篇 上海微电子装备股...
  • 1 篇 张家口职业技术学...
  • 1 篇 桂林电子科技大学

作者

  • 1 篇 张秀国
  • 1 篇 张志钢
  • 1 篇 谈恩民
  • 1 篇 张霖
  • 1 篇 石婷婷
  • 1 篇 高树勋

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=机械模态"
2 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
基于有限元分析的刮板输送机链轮机械模态研究
收藏 引用
煤炭技术 2013年 第12期32卷 17-19页
作者: 高树勋 张秀国 张家口职业技术学院 河北张家口075000
有限元分析理论的提出为复杂机械性能问题的研究提供了有效方法。文章以井下刮板输送机链轮为研究对象,利用有限元分析方法对机械模态进行研究。通过对前10阶模态的计算,得出了固有频率的影响值范围,并以链轮轮齿厚度和宽度为例分析了... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
光刻机掩模台djerk前馈控制算法研究
收藏 引用
仪器仪表用户 2019年 第5期26卷 1-4,32页
作者: 石婷婷 谈恩民 张志钢 张霖 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 广西桂林541004 上海微电子装备(集团)股份有限公司 上海201203
针对光刻机掩模台控制系统中存在影响控制精度的机械模态,提出了一种djerk前馈控制方法。该方法在加速度前馈基础上引入一种新的前馈。该算法利用四阶点对点运动轨迹作为参考位置进行仿真验证,与传统的加速度前馈控制方法相比,传统的加... 详细信息
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